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外延的例子 * Silvaco学习 * go athena init infile=mask.str Epitaxy … Structure outfile=… Tonyplot *.str 外延是硅的外延！ Epitaxy time=1 temp=1000 c.boron=1e15 growth.rate=0.5 外延速率的例子： Epitaxy time=1 temp=1000 thick=2 c.phos=1e15 \ dy=0.02 ydy=0.1 div=10 网格控制的例子： 抛光 抛光的命令polish，参数及说明如下： * Silvaco学习 * 抛光的例子 * Silvaco学习 * go athena init infile=mask.str Rate.polish oxide machine=cmp u.m \ max.hard=0.15 min.hard=0.03 \ isotropic=0.001 Polish machine=cmp time=4 min structure outfile=polish.str tonyplot mask.str polish.str 光刻 光刻的步骤及参数很多 如mask，illumination，projection，filter，layout，Image，bake，expose和 develop 下一讲再讲解光刻工艺 * Silvaco学习 * 本讲回顾 介绍了离子注入，扩散，淀积，刻蚀，外延和抛光的工艺仿真。 给出详实的参数说明及例句例子。 通过例子希望大家能体会到： 网格的重要性 适当的空行和缩进以及注释以增强可读性 学会用“Init infile=*.str” 时刻留意输出窗口的信息 * Silvaco学习 * 下一讲安排 介绍光刻工艺 工艺集成 工艺仿真部分答疑 * Silvaco学习 * 谢谢！ * * Silvaco学习 交流时间 * * Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco TCAD 工艺仿真（二） Tang shaohua, SCU * * Silvaco学习 E-Mail: shaohuachn@126.com shaohuachn@ 上一讲知识回顾 熟悉仿真流程 * * Silvaco学习 1、建立仿真网格 2、仿真初始化 3、工艺步骤 4、抽取特性 5、结构操作 6、Tonyplot显示 go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1.0 spac=0.10 Line y loc=0.0 spac=0.02 Line y loc=2.0 spac=0.20 init two.d Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 extract name=Tox thickness oxide \ mat.occno=1 x.val=0 tonyplot quit 小试牛刀之 Diffuse做氧化 优化 这一讲的安排 介绍各个工艺的参数及其意义 举例说明 这些工艺有： 离子注入，扩散，淀积，刻蚀，外延和抛光 * Silvaco学习 * 离子注入 命令implant，参数及说明如下： * * Silvaco学习 离子注入的参数及说明 * * Silvaco学习 离子注入的几何说明： 注入面：α 表面：∑ 仿真面：β Tilt angle：θ Rotation angle：φ 离子注入的例句 * * Silvaco学习 Implant phosph dose=1e14 energy=100 tilt=15 Implant boron dose=1e13 energy=50 tilt=0 s.oxide=0.005 Implant boron dose=1e13 energy=300 bca tilt=0 rotation=0 Analytical 注入： SVDP注入（s.oxide为屏氧厚度）： Monte Carlo注入： Implant boron dose=1e14 energy=50 unit.damage dam.factor=0.1 注入损伤： 离子注入的例子 * * Silvaco学习 go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1