声表面波谐振式力学量传感器的发展与现状_陈明.pdfVIP

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2017-05-26 发布于浙江
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声表面波谐振式力学量传感器的发展与现状_陈明

2000 19 5 ( Jou nal of T ansduce T echnolog y) 1 陈明, 王玮 ( , 710072) : , , - , : ; ; : T H82 : A : 1000- 9787( 2000) 05- 000 1- 03 Development and current status of SAW resonator mechanical quantity sensors CH EN Ming , WANG Wei (Dept. of automatic control,North estern Polytechnical University, Xi. an 710072, China) Abstract:Some impo tant achievements of SA W mechanical quantity senso s at home and ove seas a e eview ed b iefly, the cha acte istics and basic w o king p inciple of SA W mechanical quantity senso s a e expounded, in t he meantime, the elationship between input and output of the senso is simply deduced, finally othe types of SAW senso s a e int oduced. Key ords:su face acoustic wave ( SAW) ; mechanical quantit y; senso 0 19 80 , SAW , 1965 , Whit e , 1990 , Volt mov 32% ( IDT ) , , , 60% , , , SAW ( SAW) 20 80 , : ( 1) , ( , ; ) (2) , , , ; ( 3) , , , , ; ( 4) 1980 1990 10 , , , SAW , , , , , 20 SAW SAW , , , , / 0 , , , 1 : 2000- 05- 10 2 19 SAW SAW ) , v K, f ( ) SAW , , [ 1] SAW , SAW , , ( SAW SAW ) ,