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材料 3 MEMS 可靠性研究 一 重要性 图 1 MEMS发展趋势 以MEMS在汽车等典型环境中对可靠性要求为例，进行分析。 微传感器如压力传感器、流量计、加速度计等在汽车、石化等工业领域使用广泛。汽车 和石化工业是 MEMS 传感器市场快速成长的温床。据估计，全球每年仅汽车安全性应用对 MEMS 传感器的需求就接近 1 万亿个单位。在国内，我国已实行欧 III 尾气排放标准， 2009 年国家将贯彻欧 IV的尾气排放标准，届时电喷系统对于压力等微传感器的需求将迅速扩增。 从市场调研的情况了解到，目前东风康明斯、玉柴机器、东风有限发动机厂等国内主要的柴 油机生产企业都在进行电喷柴油机的开发。此外，制动系统、ABS 系统、ESP 系统、空气 悬挂系统等对 MEMS 传感器都有应用需求。这些传感器对高效生产和乘客安全影响重大， 且它们服役环境严苛，因此对可靠性要求很高。同时，由于汽车价格等的限制，这些传感器 的批量供应的成本也应得到严格控制。“可靠性和成本”两个关键因素造成目前国际上这些 27领域所用的 MEMS 传感器主要由 Bosch、Simens、Motorola 等国外公司提供。 汽车中的传感器主要包括压力传感器、位置和转速传感器、氧传感器、氢气传感器、流 量传感器和磁传感器等几种。目前在汽车中成熟应用的 MEMS 传感器主要是压力传感器、 温度传感器、流量传感器、氧气传感器、角速度和加速度传感器等，这些微传感器主要应用 于安全系统、提高舒适性/方便性/防盗、发动机/驱动链以及车辆监控和自诊断等几个方面。 由于很多微传感器都用于安全系统，这些传感器的可靠性就是车辆安全的关键因素之一。因 此，一般来说，车用传感器应在汽车高达 10 年/15 万英里的使用寿命内保证准确、可靠地运 行。车用传感器的使用环境却极为严苛。乘务舱内使用的传感器通常要经历从-40 度到＋85 度的温差波动，引擎罩下的温度可以达到＋125 度，固定在引擎上的传感器甚至要经历超过 140 度的高温。除了长时间，高、低温度下的静态载荷外，汽车传感器还要经历热循环，或 者热冲击，以及 85 度下湿度达 85％的潮湿环境。有些汽车传感器还要经历高达 30g 的振动， 以及撞击条件下的极高荷载。因此，车用微传感器在恶劣环境下的可靠性是其能否成功产业 化的关键。 MEMS 传感器的可靠性已经引起了学者的广泛关注。传感器的使用寿命可以通过实验 测试和模拟仿真来进行预测，模拟、测试和使用寿命之间的关系来说明。对 MEMS 传感器 寿命和可靠性的准确评估通常包含三个方面的内容：恰当的数值仿真模型、合理可靠的实验 测试手段、准确的失效机理分析，对 MEMS 器件可靠性的研究也多从这三个方面进行展开。 如美国 Sandia 实验室研制了一套 MEMS 器件可靠性测试系统 ShiMMER （Sandia High Volume Measurement of Micromachine Reliability），一次可对 256 个 MEMS 器件进行实验， 基于此可对器件的失效机理进行分析。然而，与 MEMS 器件巨大的市场潜力相比，目前对 MEMS 可靠性的研究非常有限。比如，如果对于车用压力传感器要求通过 200 万次高温 （125℃）加压卸压循环测试，而很多国产的 MEMS 传感器都不能达到这个要求。因此，对 MEMS 传感器可靠性，特别是恶劣环境下使用的传感器可靠性的研究需加强。 二 国外主要研究现状总结 1 总体上目前国外对 MEMS 的可靠性研究仍处于起步阶段。 如 S.Arney 等人对 MEMS 可靠性的设计问题进行了探讨概述了 MEMS 可靠性设计的 基本概念、定义，初步分析一些失效模式等。虽然这些为可靠性设计的研究提供了帮助，但 是也有很大的局限性，大多只是从单个角度如费用、器件性能、知识库、对 MEMS 的可靠 性研究进行了探讨，对产品开发某个阶段的可靠性因素进行了一定的分析，但对 MEMS 产 品开发的各阶段的可靠性因素的作用与相互关系还缺乏清楚的理解，同时在 MEMS 开发设 计过程中可靠性因素的考虑和反馈机制还重视不够，往往在产品开发的后期才引起关注,缺 乏较为全面的 MEMS 可靠性设计方法。 2、MEMS 产品的生产制造，规模最大的是基于集成电路大规模生产的。然而，MEMS 对 可靠性的要求超过了集成电路。 B.Stark 编辑的“MEMS Reliability Assurance Guidelines for Space Applications”一书初 步提出了太空应用中的 MEMS 缺陷来源和失效机理分析以及它们对 MEMS 可靠性的影响; De Wolf 等人以 RF-MEMS 为例对 MEMS 可靠性定义、失效机理及失效模式影响分析