电子背散射衍射试样的制备技术.pdfVIP

~ O O Q O Q O O Q O O 0 Q e o 0 ～ 测试与分析 ～ 电子背散射衍射试样的制备技术 王 疆 ，岳俊伟 ，郦 剑 ，王幼文 (1．辽宁科技大学高等职业技术学院，辽宁 鞍山 114044；2．中冶北方工程技术有限公司，辽宁 鞍山 114000； 3．浙江大学金属材料研究所，浙江 杭州 310027) 摘 要：电子背散射衍射试样的制备质量对其成像效果有重要的影响。电子背散射衍射试样的制备方法 已 由传统的机械抛光、机械一化学抛光和电解抛光发展到离子减薄、聚焦离子束和最新的截面抛光等。 介绍了工业纯铁和 PbTiO 微米粉末电子背散射衍射试样的制备方法。 关键词：电子背散射衍射；试样制备；机械一化学抛光；电解抛光 中图分类号：TG115．211 文献标识码 ：B 文章编号：1008—1690(2013)04．0071．04 Preparation ofSampleforElectronBackscatteredDiffraction WANGJiang ．YUEJunwei．LIJian 。WANGYouwen。 (1．VocationalTechnicalCollege，LiaoningUniversityofScienceandTechnology，Anshan114044，LiaoningChina； 2．Northern Engineering TechnologyCorporation，MCC，Anshanl14000，LiaoningChina； 3．DepartmentofMaterialsScienceandEngineering，ZhejiangUniversity，Hangzhou310027，ZhejiangChina) Abstract：Thepreparationqualityofelectronbackscatterdiffraction(EBSD)samplewillexertasignificant influence on the imaging effect． The methodsofpreparingEBSD sample have developed from conventional mechanical，mechanical·chemicaland electrolyticpolishingstoionthinning，focused ion-beam and crosssection polishing．TheexamplesofpreparingEBSD samplesofpureironandmicro-levelPbTiO3powderwereintroduced． Keywords：EBSD；samplepreparation；chemical—mechanicalpolishing；electrolyticpolishing 电子背散射衍射技术是2O世纪90年代初 问世 备电子背散射衍射试样的新技术、新设备也相继出 的一项应用于扫描 电子显微镜 (SEM)的新技术。 现，由传统的机械一化学抛光、电解抛光发展到离子 此技术可对块状样品纳米级显微组织逐点作晶体学 减薄以及聚焦离子束 (focusedion．beam)和最近新 分析，获得晶体取向图，使扫描电镜上的显微组织、 开发的截面抛光等。本文通过对工业纯铁片和 微区成分与晶体学或织构的分析相结合，改变了传 PbTiO微米粉末的试样制备及分析测试，得到制备 统的显微组织和晶体学分析两个分支的研究方法， 电子背散射衍射试样的有效方法。 大大地拓展了SEM的应用范围。因其成像依赖于 1 工业纯铁片 EBSD试样制备 晶体的取向，故也称其为取向成像显微技术 ¨。J。 由于背散射电子只发生在试样表层 5nm的深 1．1 切割及尺寸 度范围内 』，所以试样表面的残余应变层、氧化膜 对于较厚的金属材料，最好采用线切割的方法。 以及腐蚀坑等缺陷都会影响甚至完全