原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
后道封装测试洁净厂房的净化空调设计
上海 电子工程设计研 究院 周 亮 叶鸿 康
【摘 要】 介绍某后道封装洁净厂房的净化空调设计 ，阐明了新风机组、干冷盘管及风机过滤器
单元 (FFU)组合使用的技术特点 ，并指 出风机过滤器单元在 国内应用的广阔前景。
【主题词】 干冷盘管 风机过滤器单元 (FFU) 新风机组
1．概况 (TEST)洁净 区面积 1058m 。洁净区面积合
本工程为上海某一电子有限公司电子厂 计 4433m 。洁净室层高 3m。各车间温湿度及
房 ，是一个集成 电路封装测试厂房 ，位于上海 净化要求见表 1。
张江高科技园区内。原材料晶圆片经切割、塑 表 1 主要房间的空气参数要求
m
封 ，引脚切筋 、打弯、测试等工序之后成 品出 房间名称 温 度 湿 度 净化级别 正 压 值
o
厂 。综合厂房共 2层 。建筑面积 22000m 。一 c(℃) ( ) (O 3“m) (Pa)
层前道 车 间 (EOL)、后道车 间 (FOL)、测试 前 道 23土2 50±5 10000级 15
.
车间 (TEST)设置在建筑物 中间，四周 由环 后道及测试 23土2 50士5 100000级 10
形密 闭走廊包围。其他辅助车 间、仓库 、办公 g
2．净化空调设计
n
区及动力站房等设于车 间四周 。二层为二期
o净化车 间空调方式采用新风机组 、干冷
发展部分 。空调机房设在二层 。一层前道车
盘管及风机过滤器单元 (FFU)组合形式 ，如
l
间 (EOL)洁 净 区面 积 2250m 。后道 车 间
u图 1所示 。
(FOL)洁 净 区 面 积 1125m ，测 试 车 间
h
z 命 命 命
. 5-- !t＼ 5．一 ／． 5-- ／t＼
w I
4 4 4蛔
l l
w
w 2 2 2
； i
…
… L3 … L3 … !一3 …
文档评论（0）