单片式有源像素探测器简介-山东大学学报.PDF

　第４６卷　第１０期 山　东　大　学　学　报　（理　学　版） ２０１１年１０月　 　　　　　 　Ｖｏｌ．４６　 Ｎｏ．１０　　　　　ＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｈａｎｄｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅ） Ｏｃｔ．２０１１　 　文章编号：１６７１９３５２（２０１１）１０００７５０６ 单片式有源像素探测器简介 王萌 （山东大学物理学院，山东 济南２５０１００） 摘要：介绍了基于ＣＭＯＳ超大规模集成电路工艺的单片式有源像素探测器（ＭＡＰＳ），包括它的工作原理、特型、 以及一些改进方案与发展的趋势。 关键词：像素探测器；复合式像素探测器；单片式像素探测器；ＭＡＰＳ 中图分类号：Ｏ５７２．２１　　　文献标志码：Ａ Ａｎｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎｔｏｍｏｎｏｌｉｔｈｉｃａｃｔｉｖｅｐｉｘｅｌｓｅｎｓｏｒｓ ＷＡＮＧＭｅｎｇ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＰｈｙｓｉｃｓ，ＳｈａｎｄｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｊｉｎａｎ２５０１００，Ｓｈａｎｄｏｎｇ，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｍｏｎｏｌｉｔｈｉｃａｃｔｉｖｅｐｉｘｅｌｓｅｎｓｏｒ（ＭＡＰＳ）ｉｓｂａｓｅｄｏｎｖｅｒｙｌａｒｇｅｓｃａｌｅｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎＣＭＯＳｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．Ｉｔｓ ｗｏｒｋｉｎｇｐｒｉｎｃｉｐｌｅ，ｐｒｏｔｏｔｙｐｅｓ，ｉｍｐｒｏｖｅｍｅｎｔｓａｎｄｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｔｒｅｎｄｓａｒｅｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄｉｎｔｈｅａｒｔｉｃｌｅ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｐｉｘｅｌｄｅｔｅｃｔｏｒｓ；ｈｙｂｒｉｄｐｉｘｅｌｓ；ｍｏｎｏｌｉｔｈｉｃｐｉｘｅｌｓ；ＭＡＰＳ （～１０ ｍ）与时间分辨（１０～１００ｎｓ），高抗辐射能 μ １５ －２ ０　引言 （１０ｎｃｍ ），传统的探测手段无法同时满足这些 ｅｑ 要求，惟一的选择就是基于半导体技术的像素探测 像素探测器目前是加速器高能物理实验上主流 器。表１列出了一些主要对撞机的相关参数。虽然 的顶点探测器。新一代的加速器包括正在运行的大 像素探测器在高能物理实验上是用作高精度的粒子 型强子对撞机（ｌａｒｇｅｈａｄｒｏｎｃｏｌｌｉｄｅｒ，ＬＨＣ）及规划 径迹探测，但是２０多年的发展，在辐射成像领域它 升级的ＳｕｐｅｒＬＨＣ、相对论重离子对撞机（ｒｅｌａｔｉｖｉｓｔｉｃ 也获得广泛的应用，从 Ｘ射线成像、同步辐射成 ｈｅａｖｙｉｏｎｃｏｌｌｉｄｅｒ，ＲＨＩＣ）、ＳｕｐｅｒＫＥＫＢ、以及规划 像，到最新的自由电子激光成像，尤其是自由电子 中的国际直线对撞机（ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌｌｉｎｅａｒｃｏｌｌｉｄｅｒ， 激光对像素探测器的发展提出了新的需要：光强变 ６ ＩＬＣ），它们共同的特点是高能量、高亮度、高频率、 化范围大（１０），单像素计数率高（ＭＨｚ），非常高 以及高精度，因此对探测器的要求是高的空间分辨 的成像频率（ＭＨｚ），以及低的死时间。