洁净室晶圆表面之无机性有机性气体吸附沈积行为之探讨-东海大学.PDF

潔淨室晶圓表面之無機性/有機性氣體吸附沈積行為之探討 1 2 3 4 5 康育豪 、鄧宗禹 、白曛綾 、洪益凱 、柯富祥 國科會研究計畫編號 : NSC91-2215-E-317-007 摘 要 隨著半導體元件線寬不斷縮小化 ，集積度不斷提升，有機/ 無機性微污染對半導體良率的影 響越趨於顯著 。由於氣態空氣污染物的多寡並未與目前的潔淨室等級形成直接關係 ，因此即使 潔淨室的等級很高，仍然有很高的氣態污染物濃度存在於潔淨室的環境中 ，並可能沈積在晶圓 表面上造成損害，因此有效杜絕污染源 ，並能掌握氣體附著於晶圓表面上之吸附機制 ，將是未 來提升半導體良率的關鍵所在。 本研究群著手設置一模擬Class 10 無塵室之微環境實驗平台，利用微量分析技術求得曝露 於微環境中的晶圓表面污染量與環境濃度值，以找出晶圓表面污染量與曝露時間和背景濃度之 關聯性。藉由無機 /有機性氣體於晶圓表面之吸附沈積實驗，將可分別計算出無