微电子器件B12015半导体器件基本方程.pptVIP

微电子器件B12015半导体器件基本方程.ppt

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例 1.3 对于方程 ( 1-12 ) 、( 1-13 ) 中的净复合率 U ,当作如下假设:(1) 复合中心对电子与空穴有相同的俘获截面;(2) 复合中心的能级与本征费米能级相等,则 U 可表为 式中,? 代表载流子寿命, 如果在 P 型区中,且满足小注入条件,则 同理,在 N 型区中, 于是得 (1-18) (1-19) (1-17) 例 1.4 将电子扩散电流密度方程 (1-16) 同理可得 空穴的扩散方程, (1-23) (1-21) 代入电子连续性方程 (1-12) 设 Dn为常数,再将 Un 的表达式代入,可得 电子的扩散方程, 例 1.5 对于泊松方程的积分形式 (1-6) , (1-25) 也可对积分形式的基本方程进行简化。 在 N 型耗尽区中可简化为 式中, ,分别代表体积 V 内的电子总电荷量和非平衡电子总电荷量。 例 1.6 对于方程 (1-7) (1-7) 将电子净复合率的方程(1-18)代入, 并经积分后得 (1-26) 定态时, ,上式可再简化为 (1-27) 方程(1-26)~(1-29)是电荷控制模型中的常用公式 ,只是具体形式或符号视不同情况而可能有所不同 。 同理,对于 N 型区中的少子空穴, 定态时, (1-29) (1-28) * * * * * * 微 电 子 器 件 电子科技大学 微电子与固体电子学院 授课教师:张建国 办公室:计算机学院112房间 电话: 028-mail: si_laser@ jgzhang@ * 总学时数:64学时 其中课堂讲授:52 学时,实验:12 学时 成绩构成: 期末考试:70 分、期中考试:10分、 平时成绩:10 分、实验成绩:10 分 上课安排 第1周~第13周,共52课时 每周4学时 周三5、6节 C408 周五 3、4节 C408 相关课程: 半导体物理、固体物理 答疑时间: * 研究领域:硅基光电子学( Silicon-based Optoelectronics ) 研究方向:硅基光电材料与器件,包括 1、硅基掺铒光波导放大器(EDWA) 2、硅基电注入激光器 参考:/go/sp/ / /uoeg/ 问题:1、半导体工业发展到现在有哪几项革命性的器件? 2、估算单个MOS管运算速度。 3、为什么单核CPU主频(10亿次)最近十多年很难继续往 上提升? CPU芯片中金属连线长度的演化 摩尔定律(每隔12到18个月集成度增加一倍,性能也提升一倍) * RC time constants R= ρL/A C=kA/d 金属连线瓶颈(电子是传输信号的载体) * 《半导体制造技术》 P263 硅基光电集成片上系统(SOC)所需的电子学单元和光子学单元 * * * 李国杰 * * * * * * * * 电子器件发展简史 1904年:真空二极管 1907年:真空三极管 电子管 美国贝尔实验室发明的世界上第一支锗点接触双极晶体管 1947年:双极型晶体管 1960年:实用的 MOS 场效应管 固体器件 1950 年发明了结型双极型晶体管,并于 1956 年获得诺贝尔物理奖。 1956 年出现了扩散工艺,1959 年开发出了 硅平面工艺 ,为以后集成电路的大发展奠定了技术基础。 1959 年美国仙童公司( Fairchilds )开发出了第一块用硅平面工艺制造的集成电路,并于 2000 年获得诺贝尔物理奖。 1969年:大规模集成电路(LSI ,103 ~ 105 元件或 102 ~ 5 ×103 等效门 ) 1959年:中小规模集成电路(IC) 1977年:超大规模集成电路(VLSI ,以 64K DRAM 、16位 CPU 为代表 ) 1986年:巨大规模集成电路(ULSI,以 4M DRAM

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