飞秒激光热反射法用于纳米薄膜界面热阻研究.pdfVIP

山东科学 第 29卷 第3期2016年 6月出版 SHANDONG SCIENCE Vo1．29No．3Jun．2016 DOI：10．3976／j．issn．1002—4026．2016．03．007 I能源与动力】 飞秒激光热反射法用于纳米薄膜界面热阻研究 李凤名 ，李晓彤 ，苑昆鹏2，王照亮 (1．胜利石油管理局地热余热资源开发项 目部 ，山东 东营257000； 2．中国石油大学(华东)能源与动力工程系，山东青岛266580) 摘要：纳米薄膜界面热阻在纳米结构热输运过程中起主导作用。相对于金属纳米薄膜，非金属纳米薄膜界面热输运规律 更为复杂。采用改进的双波长飞秒激光光热反射法(TDTR)实验系统，测试了金属纳米薄膜、非金属纳米薄膜分别与不 同介电基体之间的界面热阻。薄膜一基体德拜温比可以近似作为衡量界面声学失配程度的度量，德拜温比接近，非金属纳 米薄膜界面热阻比金属纳米薄膜界面热阻大2—3倍，主要原因是电子一声子耦合作用增强了金属薄膜界面热输运能力。 关键词：双波长飞秒激光；光热反射法；界面热阻；纳米薄膜；声学失配 中图分类号：TK124 文献标识码：A 文章编号：1002-4026(2016)03-0035-05 ApplicationoffemtosecondlaserTDTR methodinthermal boundaryresistanceofnano—fiIm LIFeng．m ing ，LIXiao—tong ，YUAN Kun—peng ，WANG Zhao-liang (1．DepartmentofGeothermalResourceExploitation，ShengliOilfield，Dongying257500，China； 2．DepartmentofEnergyandPowerEngineering，ChinaUniversityofPetroleum，Qingdao266580，China) Abstract：ThermaIboundaryresistanceOfnano一豫m iSpredominantinthermaItransportprocessOfnano—scalestructure． Comparedwithmetalnano—f¨m ．thermaItransportprocess0fnonmetalnano—f¨m iSmore complicated．We measure thermalboundaryresistancebetweenmeta1．nonmetaInano．f¨m anddifferentdielectricsubstrateswithimproveddual—color femosecondIasertime—domainthermoreflectance (TDTR)method．DebyetemperatureratioOffJim andsubstratecan serveasa measurementofacoustic mismatch degree．Forthe same Debye temperature ratio，thermalboundary resistanceOfnonmetaInano．m iSabout2 3timesgreaterlhartthatOfmetaInano-film．ThisiSmainlybecauseelectric— phononcoupling enhancesthermaltransportcapabilityofmetalnano—fjJm． KeyWOrds ： dual—colorfemosecond laser：time-domain thermoreflectance；thermalboundary resistance；nano-fnm； a