基于直接数字频率合成器及正交锁相技术的交直流微型-电子与信息学报.PDF

第35 卷第12 期 电 子 与 信 息 学 报 Vol.35No.12 2013 年12 月 Journal of Electronics Information Technology Dec. 2013 基于直接数字频率合成器及正交锁相技术的交直流微型电场传感器电路 任东宇＊①② 彭春荣① 夏善红① ①(中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室 北京 100190) ②(中国科学院大学 北京 100039) 摘 要：为了实现AC(工频)和DC 电场同时检测，该文基于MEMS 电场传感器，采用直接数字频率合成器(DDS) 激励及正交锁相技术研制出一种高性能微型电场传感器电路。该系统结合低噪声模拟电路和数字控制方式，采用 DDS 产生精准的传感器激励信号和双路正交参考信号，保证了激励信号及正交参考信号的频率、幅值稳定性以及 双路正交参考信号之间准确的相位差。采用相关解调芯片及高速滤波器构建正交锁相放大电路，结合 Advanced RISC Machines (ARM)微控制器，解决了单片机数字信号处理响应速度慢、资源不足等问题，成功实现AC(工频) 及DC 电场加载情况下传感器弱信号高精度提取。 关键词：微型电场传感器； 静电场及工频电场；直接数字频率合成器(DDS)； 正交锁相放大器； 分辨力 中图分类号： TP212 文献标识码： A 文章编号：1009-5896(2013)12-3030-07 DOI: 10.3724/SP.J.1146.2013.00312 Micromachined Electric-field Sensor System Based on Direct Digital Synthesizer and Lock-in-amplifier to Measure AC and DC Fields ①② ① ① Ren Dong-yu Peng Chun-rong Xia Shan-hong ① (State Key Laboratory of Transducer Technology, Institute of Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ② (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China) Abstract: A novel and high-performance micromachined electric-field sensor system circuit which can measure both AC (50 Hz) and DC fields is presented based on Direct Digital Synthesizer (DDS) and Lock-In-Amplifier (LIA). The system combines low-noise analog circuits and digital control scheme, using DDS to generate the excitation signal and the orthogonal reference signals, ensures the frequency and amplitude stability of the excita