材料学院紫外光刻机4.26.doc-上海工程技术大学.doc

上海工程技术大学 材料学院紫外光刻机 采购项目 招标文件 项目名称：材料学院紫外光刻机采购项目 招标方：上海工程技术大学资产及实验室管理处 2017年4月26日 招标文件 招标项目名称：材料学院紫外光刻机采购项目 发标时间：2017年4月26日星期三 一、投标邀请 招标方式： 受用户委托和对采购项目的要求，本职能处室对材料学院紫外光刻机采购项目进行公开招标。具体技术要求见附件。 兹邀请合格投标人以密封标书的形式前来投标，标书一式二份，用单独的信封密封，并在信封上标明投标单位及投标项目名称，为确保标书的时效性和可行性，以专人送达为宜。 1．????????????? 投标地点：上海工程技术大学资产及实验室管理处物资供应中心（行政楼B111室） 2．????????????? 投标截止时间：2017年5月3日12：00，逾期收到或不符合规定的投标文件不予接受。 3．????????????? 开标时间和地点：2017年5月上旬，采取公开开、评标，地点：校资产及实验室管理处。 4．????????????? 开、评标结果由资产及实验室管理处具体人员通知投标单位。 5．????????????? 凡需对本次招标提出咨询的供应商，请在2017年5月3日前与资产及实验室管理处物资供应中心联系。 6．????????????? 本招标方地址：上海市龙腾路333号????邮编：201620 7．????????????? 联系人：高丹????电话8. 所需附件资料 经国家工商机关年检，并提交有效年检印鉴的企业法人营业执照； 税务登记证； 组织机构代码证； 法定代表人授权委托书； 被授权人身份证。 9. 有下列情形之一的，视为无效投标。 1）未按招标文件规定密封并标注投标项目的； 2）未按投标文件截止时间之前送达的； 3）未附有公司营业三证复印件且加盖公章的； 4）不符合国家、学校规定以及招标文件中规定的。 10. 该项目为校内招标项目，项目评审专家费用有中标单位支付。附： 招标要求 一．主要技术参数要求 曝光面积： 100mm×100mm； 分辨力：1.7mm（胶厚2 mm的正胶）； 对准精度：±1mm； 掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm； 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸； 样片尺寸：直径50mm-- 100mm×100mm、厚度0.1mm--6mm； 照明均匀性： ±5%（f100mm 范围）； 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度； 汞灯功率：200W以上（直流）； 曝光波长：365nm左右； 曝光能量密度：6mW/cm2以上； 曝光方式：定时（倒计时方式）。 二．设备构成与配置明细要求 （1）曝光头： 200W进口直流高压汞灯； XYZ汞灯调节台； 光学系统； 冷却风扇。 （2）对准工件台 掩模样片整体运动台； 掩模样片相对运动台； 转动台； 样片调平机构,手动； 样片调焦机构，手动； 承片台3个（?50mm 、?75mm 、 100mm×100mm ）； 掩模夹4个（3英寸、4英寸、5英寸）； 掩模抽拉式上下机构。 （3）对准显微镜 光源、电源； 双目双视场对准显微镜主体； 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）； 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）； CCD； 液晶显示器。 （4）电控系统 汞灯触发电源(200W直流汞灯)； 单片机控制系统； 控制机箱； （5）气动系统 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等； 电磁阀驱动； 气动仪表； （6）其他附件 真空泵一台； 配套接口管道。 三．交货期：合同签订后30个工作日内 3 5