磁控,射制备CurTa合金膜的研究-云南大学学报.PDF

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磁控,射制备CurTa合金膜的研究-云南大学学报

( ),2013,35(6):791~796 DOI:10.7540/j.ynu JournalofYunnanUniversity  Cu-Ta   , , , ,   ( ,  650093) : , Cu-Ta , AFM(atomicforcemicrosco py) , . , , ; , , . , . :Cu-Ta ; ; ; :TB43;TN305.92   :A   :0258-7971(2013)06-0791-06    ( :Al-Pb,Ag-Ni,Cu-W Cu-Ta . Cu-Ta) ( H 0), [14], △ ≥ . Cu-Ta 、 , , [15-16],Cu-Ta Cu-Ta [17]. Ta . , Cu Si/ , SiO [17-20].

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