薄膜材料制备与技术-深圳大学材料学院.doc

深圳大学课程教学大纲 课程编号: ? 课程名称: 薄膜材料制备与技术 开课院系: 材料学院 制订(修订)人: 曹培江 审核人: 批准人： 2010年 05月 08日制(修)订 课程名称: 薄膜材料制备与技术 英文名称: Fabrication and Technology of Thin Film Materials 总学时: 36 其中：实验课2 学时(全体学生到F座F111参观真空蒸发设备和脉冲激光沉积设备) 学 分: 2 先修课程: 大学物理 教 材: 《薄膜材料制备原理、技术及应用》— 唐伟忠著；冶金工艺出版社出版社 参考教材: 《薄膜物理与技术》 — 杨邦朝，王文生编著；电子科学出版社 《薄膜技术》 — 王力衡；清华大学出版社 《薄膜技术》— 顾培夫；浙江大学出版社 《真空技术物理基础》— 张树林；东北工学院出版社 《真空技术》 — 戴荣道；电子工业出版社 《材料表面薄膜技术》— 杨烈宇；人民交通出版社 课程性质: 材料科学与工程专业，专业选修 教学目标: 通过本课程的学习，要求学生初步掌握真空及薄膜的物理基础，对真空获得、真空测量、气体放电、等离子体物理