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PVD知识整理;2;PVD;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;蒸镀;溅镀;溅射产能;溅镀;溅镀;材料（靶材）特性的影响： 与元素的升华热有关，呈明显周期性；随外层ｄ电子数的增加，溅射产额提高。;溅镀;溅镀;射频溅射;磁控溅射;磁控溅射的靶材;磁控溅射特征;溅镀;离子镀(Ion Plating);弧光放电 被蒸发的钛靶接阴极，真空室为阳极，当通有几十安培的触发电极与阴极靶突然脱离时就会引起电弧，在阴极表面产生强烈发光的阴极辉点（直径在100微米以下），辉点内的电流密度可达105-7A/cm2，于是在这一区域内的材料就瞬时蒸发并电离,产生等离子体。辉点在阴极材料表面上以每秒几十米的速度做无规则运动，使整个靶面均匀被消耗。等离子体中有电子、离子、分子、微粒和中性原子。;离子镀(Ion Plating)