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一种用于超光谱成像系统中消高级次光谱集成滤光片的设计与研制_段微波_李大琪_余德
红外与毫米波学报 35 卷
文章编号:1001 － 9014 (2016)04 － 0430 － 06 DOI :10 ． 11972 /j ． issn． 1001 － 9014 ． 2016． 04 ． 009
一种用于超光谱成像系统中消高级次
光谱集成滤光片的设计与研制
， ， ， ，
段微波 李大琪 余德明 刘保剑 刘定权
( ， 200083)
中国科学院上海技术物理研究所 上海
: 0． 4 ～ 2． 5 m ．
摘要 介绍了一种用于工作波段 μ 超光谱成像系统中消高级次光谱集成滤光片的设计与研制 针对
off ner ， ，
凸面光栅分光的工作特点 通过在同一光学基片上划分三块不同的几何区域 分波段实现超光谱成像仪全光
， 93 % ． ，
谱范围内因光栅分光引起高级次光谱的抑制与消除 同时保证工作波段的光学效率优于 采用精细掩模技术
30 m ， ．
保证不同波段之间过渡区域的尺寸小于 μ 有效提高光谱利用效率
: ; ; ;
关 键 词 超光谱成像 光栅分光 高级次光谱 集成滤光片
中图分类号:TB43 文献标识码:A
Design and fabrication of an integrated order blocking
filter for hyperspectral imaging system
DUAN Wei-Bo ， LI Da-Qi ， YU De-Ming ， LIU Bao-Jian ， LIU Ding-Quan
(Department of Optical Coatings ＆ Materials ，Shanghai Institute of Technical Physics ，
Chinese Academy of Sciences ，Shanghai 200083 ，China)
An integrated order blocking filter covering the w avelength range from 0 ． 4 m to 2. 5 m w as
Abstract : μ μ
designed and fabricated for the hyperspectral imaging sy stem ． Based on the characteristics of the reflec-
tive Offner convex grating dispersion ，the optical substrate is divided into three areas
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