外差干涉仪光路调节方法与`对拍频理解.docVIP

外差干涉仪光路调节方法及对拍频的理解 　　摘要： 外差激光干涉仪由于测量精度高，环境适应能力强和实时动态高速测量等特点而广泛应用于机床误差的实时监测中。外差激光干涉仪中，使用平面镜作为转向装置时，接收器上的两束光有可能只是相交而不是重合，这给光路的调节增加了很大的难度。针对这一问题，提出一种辅助光路调节方法，先将光路切换到单频干涉仪，调好光路，再切换到外差干涉仪，利用单频干涉条纹的直观性能可看出外差干涉仪光路调节的好坏。理论分析和实验结果表明，提出的调节方案具有可行性，效果良好，同时通过从单频切换到双频能更深入地理解拍频 关键词： 测量； 干涉仪； 光路调节； 干涉条纹 中图分类号： TN247 文献标志码： A doi： 10.3969/j.issn.1005-5630.2016.03.012 文章编号： 1005-5630（2016）03-0252-04 Abstract： The heterodyne interferometer is widely used in real-time measurement of errors for machine tools due to its high accuracy，high adaptability to environment and real-time dynamic measurement.While the plane mirror is used as the steering device，the spots on the receiver may be just intersected instead of overlapped，which increases a lot of difficulties to adjust the optical path.In order to solve this problem，a new method is proposed.Firstly，the optical path is switched to a homodyne interferometer.Then the optical path is switched back to the heterodyne interferometer.The optical path of the heterodyne interferometer is observed by the visible homodyne interference fringes.This scheme is simple.Theoretical analysis and experimental results show that the proposed scheme is feasible and effective，and it is useful to understand the beat frequency by the switching between the two interferometers. Keywords： measurement； interferometer； optical path adjustment； interference fringe 引 言 由于具有波长稳定性高，光束发散角小和光的相干性好等特点，激光在很多领域被广泛的应用。在测量领域里，激光干涉仪占据重要位置。单频激光干涉仪就能使测量精度达到光波长（亚微米），而现在广泛研究的外差激光干涉仪（配合相位计）能将测量精度提高到纳米甚至亚纳米。外差激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展出来的，它是通过检测测量信号和参考信号的相位差来进行测量，能够通过简单的相位细分而达到纳米级分辨率，且它的抗环境干扰能力比检测振幅的单频干涉仪强。如今，外差激光干涉仪被广泛的应用于各种精密检测领域，它既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对微小运动[1-2]进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量[3-5]，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等 外差干涉仪中，角锥棱镜被广泛的用做转向元件，因为角锥棱镜的反射光和入射光是相互平行的，因此只要不同频率的两束光在接收屏上是一个重合的圆斑，就可以保证光路调整正确。但是更多的光路使用平面镜反射，调整光路时很难保证两束光完全重合，更多情况是两束光在接收器表面以一定角度相交。因此本文提出了一种通过观察单频干涉仪条纹间距的方法来辅助外差干涉仪进行光路调整 1 原理 如图1，两束光波W1和W2都位于XOZ平面内，W1和W2与Z轴的夹角都为α，