GB/T 11164-1999真空镀膜设备通用技术条件.pdf

前言 标准是对 真空镀膜设备通用技术条件 进行修订而编制的 在内容上 对某些技术指标进行了修改 如 类镀膜设备抽气时间从原来的 改为 增加了升压率指标 并且由于原标准中 类镀膜设备国内已无生产厂生产 在本次标准修订中 将 类产品取消 标准自实施之日起代替 标准由国家机械工业局提出 标准由全国真空技术标准化技术委员会归口 标准起草单位 上海曙光机械制造厂 沈 真空技术研究所 标准主要起草人 张树中 李春影 李玉英 中华人民共和国国家标准 真空镀膜设备通用技术条件 代替 范围 标准规定了真空镀膜设备技术要求 试验方法 检验规则 标志 包装 运输和贮存等 标准适用于压力在 范围的蒸发类 溅射类 离子镀类真空镀膜设备 以下简称设 备 引用标准 下列标准所包含的条文 通过在 标准中引用而构成为 标准的条文 标准出版时 所示版 均 为有效 所有标准都会被修订 使用 标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性 包装储运图示标志 真空法兰 机电产品包装通用技术条件 真空设备型号编制方法 定义 标准采用下列定义 极限压力 真空系统正常工作时 空载干燥的镀膜室逐渐稳定的最低压力 单位 抽气时间 真空系统正常工作时 将空载干燥的镀膜室从大气压 抽到规定的压力所需要的时间 单位 升压率 将空载干燥的镀膜室连续抽气至稳定的最低压力后 截止抽气 在镀膜室内由于漏气或内部放气所 造成的单位时间的升压 单位 技术要求 设备正常工作条件 环境温度 相对湿度 不大于 冷却水进水温度 不高于 冷却水质 城市自来水或质量相当的水 供电电源 三相 或 单相 由所用电器需要而定 电压波动范围 或 频率波动范围 国家质量技术监督局 批准 实施 标准分享网 免费下载 设备所需的压缩空气 液氮 冷热水等压力 温度 消耗量均应在产品使用说明书中写明 设备周围环境整洁 空气清洁 不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的 尘埃或气体存在 设备技术参数 设备的主要技术参数应符合表 的规定 设备的型号应符合 的规定 表 项次 参 数名 称 参 数 数 值 镀膜室尺寸分档 分档 真空 极限压力 指标 抽气时间 升压率 沉积源 沉积源型式 尺寸 数量及最大耗 指标 电功率 工件架 工件架尺寸及转动方式 指标 工件烘烤方式及烘烤温度 离子轰击 工件偏压功率 根据设计要求 膜厚监控方式及控制精度 设备控制方式 设备最大耗电量 注 所列镀膜室的几何尺寸 对圆柱式室体为圆柱内径 对箱式室体为箱体内宽度 号尺寸优先