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本科毕业论文 （设计） 题 目 不同退火温度对二氧化钛薄膜性质的影响 学 院 机械与电子工程学院 专 业 电子科学与技术 学生姓名 张家宇 学 号 指导教师 张自锋 职称 讲师 论文字数 7768 巢湖学院本科毕业论文(设计)诚信承诺书 本人郑重声明：所呈交的本科毕业论文(设计)，是本人在导师的 指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的 内容外，本论文不含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品 成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明 确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 本人签名： 日期： 年 月 日 巢湖学院本科毕业论文 (设计)使用授权说明 本人完全了解巢湖学院有关收集、保留和使用毕业论文 (设计) 的规定，即：本科生在校期间进行毕业论文(设计)工作的知识产权单 位属巢湖学院。学校根据需要，有权保留并向国家有关部门或机构 送交论文的复印件和电子版，允许毕业论文 (设计)被查阅和借阅； 学校可以将毕业论文(设计)的全部或部分内容编入有关数据库进行 检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编毕业，并 且本人电子文档和纸质论文的内容相一致。 保密的毕业论文(设计)在解密后遵守此规定。 本人签名： 日期： 年 月 日 导师签名： 日期： 年 月 日 巢湖学院2016 届本科毕业论文 （设计） 不同退火温度对二氧化钛薄膜性质的影响 摘要 二氧化钛 （TiO ）作为一种宽禁带半导体材料，拥有很多优良的 2 物理和化学性质，在很多领域具有应用的潜力，比如污水的处理， [1] 光电器件的制备 。因此，TiO 材料的制备得到了很多研究机构的关 2 注，如何得到高质量TiO 材料成为研究的重点。 2 TiO 薄膜的有很多的制备方法，几种常见的制备方法如下：溶 2 胶-凝胶法(Sol-gel)、电子束蒸发法（EBD）、脉冲激光沉积法（PLD）、 [2-3] 化学气相沉积法 （CVD）、以及磁控溅射法等 ，其中，磁控溅射 技术在半导体材料制备方面拥有众多的优点，例如磁控溅射技术不 仅可以在较低的工作压强下得到较高的沉积速率，而且还可以在在 较低的衬底温度下获得较高质量的薄膜。所以本文采用磁控溅射在 石英基片上沉积Ti膜，之后再将制备的Ti 膜置于空气中进行400、 600、700、900℃退火处理并对退火制备的TiO 薄膜表面形貌和晶体 2 结构进行测试及分析。 关键字:二氧化钛薄膜； 退火温度； 磁控溅射 I 不同退火温度对二氧化钛薄膜性质的影响 TheEffect ofDifferentAnnealingTemperatureon TheProperties ofTiO ThinFilms