第3章电子显微镜的结构与工作原理(0.5).ppt

3、电源系统和真空系统 电源系统：提供扫描电镜各部分所需的电能。 真空系统：采用不同的电子枪的扫描电子显微镜对真空度的要求不同。 * * 扫描电子显微镜的成像原理 3.1.2 扫描电子显微镜的性能 1、分辨率 分辨率是电镜的主要性能指标。 微区成分分析：指能分析的最小区域； 成像：它是指能分辨两点之间的最小距离。 分辨率的影响因素：束斑直径、检测信号类型及原子序数共同决定。 （1）电子束直径越小，分辨率越高。 热钨丝电子枪：100-60?； 六硼化镧/场发射电子枪:10-30?； 超高真空扫描电子显微镜：5?。 （2）信号不同，分辨率不同 信号 俄歇电子 二次电子 背散射电子 吸收电子 特征X射线 分辨率 2 10 50－200 100－1000 100－1000 各种信号成像的分辨率（nm） （3）元素不同，分辨率不同 对轻元素而言：滴漏状 对重元素而言：半球状，即使束斑直径很小，也不能达到很高的分辨率 2、 放大倍数 入射电子束在样品表面扫描的幅度为As，在荧光屏阴极射线同步扫描的幅度为Ac，则扫描电镜的放大倍数为: M=Ac/As 当Ac=100mm时，若改变扫描线圈的电流， 若As=5mm，M=20; 若As=0.05mm，M=2000。 有效放大倍数:将样品细节放大到人眼刚能看清楚时的放大倍数。 若仪器的分辨率为100?，则有效放大倍数为： M有效＝人眼分辨率/仪器分辨率＝0.2mm/100?=2×104 显然，观察100?的细节（仪器的分辨率为100?),扫描电子显微镜只要具备2万倍的放大能力就够了。 3、图像景深大（焦深）大、立体感强 4、观测视场大 扫描电子显微镜中，能同时观察试样的视场范围F由下式决定： F=L/M L－荧光屏尺寸，M－放大倍数 低倍观察样品全貌，而高倍观察样品局部现象。 5、综合分析能力强 扫描电子显微镜若安装其它附件，如X射线能谱仪、吸收电子探测器、扫描透射电子探测器等，则可以综合进行观测。 6、能进行动态观察 在扫描电子显微镜上安装不同类型的样品台，可直接观察处于不同环境（加热、冷却、拉伸等）中样品结构、形态的变化。 7、自动化程度高 自动控制系统：停水、停电具有安全装置。 图像调试方面：自动调焦、自动调节亮度、对比度，自动照相，自动编录等。 目前性能良好的扫描电子显微镜，整个调试系统实行微机控制，提高了图像质量。 8、样品制备简单 制备简单，用量少，一般不破坏样品表面。 中国地质大学(武汉)材化学院 The Faculty of Material Science Chemistry ,China University of Geosciences * 第2章 电子束与物质作用产生的信号 第3章 扫描电子显微镜的结构及工作原理 第4章 扫描电子显微镜的操作与应用 主要内容 第1章 电子光学基础 * 镜筒 (电子光学系统) 显示和控制系统 机柜(电路板、真空系统） 探测器系统 样品室 第3章 扫描电子显微镜的结构及工作原理 JSM-35CF SU8010 * 结构组成： 电子光学系统， 信号收集处理系统 图像显示和记录系统 真空系统及电源供给 各部分的功能及工作原理 1、电子光学系统 功能：产生具有一定能量、强度和直径的电子束，并将其照射到样品表面上。 组成：电子枪、电磁透镜、扫描线圈、消像散器、样品室和有关电源组成。 * * (1)电子枪 作用：产生连续不断的稳定的电子流。 类型 参数 热电子发射 场发射 发叉式钨丝 六硼化镧 亮度（A/cm·sr） 105 106 109 光源大小（μm） 20 10 5-10 寿命（h） 40-100 1000 1000 工作温度（K） 2600 1800-1900 加热器温度 真空度（mmHg） 10-5 10-6 10-9－10-10 发射电流（μA） 100 250 5-20 能量范围（eV） 3-4 2-3 0.2 熔点（℃） 3370 2200 3370 仪器分辨率（?） 60 35 10 三种电子枪的性能比较 * 三种电子束的束斑直径与灯丝电流的关系 电流的增加，意味着束斑直径的加大，电子显微镜的分辨率降低。 * 加速电压越大，作用深度、作用范围也加大。横向作用范围的扩大，意味着束斑直径的自然加大、电子显微镜的分辨率降低。 加速电压与束斑直径的关系， （2）电磁透镜 作用:把电子枪的束斑逐渐缩小，使原来直径约为50μm的束斑聚焦成一个只有数nm的细小束斑。 工作原理：电磁聚