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超声加工技术及其研究现状 引言 超声加工是指利用超声振动的工具，带动工件和工具间的磨料悬浮液， 冲击和抛磨工件的被加工部位，使其局部材料被蚀除而成为粉末，以进行 穿孔、切割和研磨等，以及利用超声波振动使工件相互结合的加工方法。 几十年来，超声加工技术的发展迅速，在超声振动系统、深小孔加工、 拉丝模及型腔模具研磨抛光、超声复合加工领域均有较广泛的研究和应用， 尤其是在难加工材料领域解决了许多关键性的工艺问题，取得了良好的效 果。 1 超声加工技术国内外发展历程 超声加工技术最早可以追溯到 1927 年，美国物理学家伍德和卢米斯 最早进行超声加工试验，利用强烈的超声振动对玻璃板进行了雕刻和快速 钻孔，但当时并未运用在工业上。1951 年，美国的科恩研制出世界上第 一台超声加工机，为超声加工技术奠定了基础。 日本对超声加工技术的研究也比较早，早在20 世纪50 年代，日本已 经专门设立了振动切削研究所，许多大学和研究所也有了相关的课题，日 本研究人员不仅把超声加工用在普通设备上，而且在精密机床、数控机床 中也引入了超声振动系统。1997 年日本将超声振动切削研磨用于生产， 可对直径为600mm 大型船用柴油机缸套进行镗孔。 20 世纪70 年代中期，美国在超声钻中心孔、光整加工、磨削、拉管 和焊接等方面已处于生产应用阶段，超声车削、钻孔、镗孔已处于实验性 生产设备原型阶段。1979 年通用超声振动切削系统已供应工业界应用。 德国和英国也对超声加工的机理和工业应用进行了大量的研究，并发 表了许多有价值的论文，在生产中也得到了积极的应用。例如：英国于 1964 年提出使用烧结或电镀金刚石工具的超声旋转加工的方法，克服了 一般超声加工深孔时加工速度低和精度差的缺点，取得了较好的效果。 我国超声加工技术的研究始于20 世纪 50 年代末，60 年代末开始了 超声振动切削的研究，并成功研制了超声振动加工深小孔的机床。1973 年上海超声波研究电子仪器厂研制成功 CNM-2 型超声研磨机。1984 年， 中国科学院声学研究所成功地研制了超声旋转加工样机，并应用于深小孔 加工。刘殿通等对工程陶瓷的小孔进行了超声振动磨削研究，该方法降低 了工件的表面粗糙度值，提高了砂轮的耐磨性，从而提高了加工精度和工 作效率。1989 年，我国研制成功超声珩磨装置。1991 年成功研制变截面 细长杆超声车削装置。 2 超声加工技术在工业上的应用 2.1 深小孔和小孔加工 硬脆材料 （如玻璃、石英、微晶玻璃）深小孔，特别是高精度深小孔 加工是国内外都在研究解决的课题。一般地，在切削力的作用下易产生变 形，从而影响加工质量和加工效率。尤其是对于钻削难加工材料的深孔来 说，更易出现许多问题：如切削液难以进入切削区，切削温度较高，刀具 磨损快，产生积屑瘤，排屑困难，切削力增大等。超声旋转加工是加工深 小孔的有效方法。 现代机械制造业正朝着精密化、集成化、智能化方向发展，因此对于 深小孔的加工要求也日益提高。在国内，机电部第十一研究所范国良、张 维贤等人在采用常规超声加工方法加工玻璃深小孔的的基础上，1984 年 与相关单位研制出超声加工试验样机。此外，哈尔滨工业大学，中国纺织 工业大学也进行了超声振动小孔磨削研究。 王婕等对复杂壳体零件深小孔处的交叉毛刺问题进行了研究提出采 用超声复合方法去毛刺。该方法提高了孔的表面光整性和加工效率，可加 工不同尺寸的小孔，具有持久性好的特点。为改善深小孔的加工质量，王 天琦等在高频振动钻削原理的基础上，设计了一套超声轴向振动加工系统， 来完成微小孔的超声钻削。该系统结构简单，便于制造，且操作方便，能 满足微小孔钻削的加工要求，尤其适用于钛合金和不锈钢类难加工材料。 2.2 难加工材料和难加工零件的超声加工 金属和非金属硬脆材料的使用越来越广泛，尤其是陶瓷材料，具有高 硬度、耐磨损、耐高温、化学稳定性好、不易氧化、腐蚀等优点。然而， 由于工程陶瓷等难加工材料具有极高的硬度和脆性，其成形加工十分困难， 特别是成形孔的加工尤为困难，严重阻碍了应用推广。因此，国内外许多 学者展开了对难加工材料加工方法的研究，其中以超声加工较多。 国外研究以日本为先导：日本东京大学中川威雄等进行复合材料振动 抛光研究；日本UNNO 海野邦昭进行了工程陶瓷超声磨削研究。日本超音 波工业株式会社制成新型USSP 系列超声振动头，其特点是：体积小、重 量轻、刚性大，可安装在金属切削机床上用