导电膜玻璃在化学钢化过程中的性能变化.pdf

维普资讯 全国性建材科技期刊—— 《玻璃》 2003年 第 5期 总第 170期 导 电膜玻璃在化学钢化过程 中的性能变化 苗向阳 江农基 张保军 刘 静 (中国建筑材料科学研究院 北京市 1OOO24) 摘 要 比较 了在线 SnO,：F和离线溅射 ITO两种导 电膜玻璃经过化学钢化过程之后在性能上 的变化 ，并对变化机 理进行了分析 。 关键词 导 电膜 化学钢化 性能变化 PropertyChangesofGlasswithConductingFilm duringChem icallyStrengthened Abstract ThepapercomparedpropertychangesofSnO2／F0n—lineconductivefilm withthoseofITO offlinesputte— ringfilm afterchemicallytoughening，discussedthemechanismsofthesechanges． Keywords Conductivefilm Chemicallytoughening Prope~ychanges 化锡掺杂导 电膜 (SnO ：F)和离线溅射铟锡膜 1 引 言 (ITO)在化学钢化过程 中的变化 ，并对机理进行 了 导电膜玻璃作为一种性能优越的功能型材料 ，应 分析 。 用范围 日益广泛。在建筑玻璃方面，由于导电膜玻璃 2 试 验 与普通浮法玻璃相 比，具有明显 的低辐射特性 (在远 红外波段具有很高 的反射率)，对于建筑物 的节能起 2．1 导 电膜玻璃的制备 到重要的作用 ，因而在建筑应用上也 日益增多 。 玻璃基片采用普通 4mm浮法无色玻璃 。在线 制备导电膜玻璃有在线和离线两种方法 。在线 导 电膜玻 璃是 采用 粉末 喷 涂在线 镀膜 方法 在 制备是采用在线镀膜方法 ，在浮法玻璃生产线上 ，在 330t／d浮法线上制得 ，原料是法 国产二丁基二氟化 600℃以上温度条件下 ，通过气体、液体或粉末材料 锡 (DBTDF)。DBTDF在退火窑 A。区 600℃温度 的热解反应 ，直接在玻璃带上形成牢 固的导 电膜 下均匀喷涂在热的玻璃带上 ，通过热解反应生成掺 层[2]，如 SnO ：F膜 ；离线制备一般是采用阴极磁 杂 F的 SnO 薄膜 。 离线导 电膜采用 阴极磁控溅射方法制得 ，靶材 控制溅射方法 ，最常见 的如 ITO膜 。由于制备方 是 InWt 一90、SnWt 一10的铟锡靶。溅射气 法、膜层成分有很大差别 ，两种导 电膜在性能上也有 压是 (2．40～3．33Pa，溅射 电压 300～350V，基片 许多差别。 温度 250~300℃，溅射气氛是氩 、氧混合气体 ，氧含 玻璃是脆性材料 ，为了提高其强度 ，增加使用安 量 20 ～30 。 全性和耐久性 ，往往经过钢化处理 ，一些异型 、超薄 、 2．2 化学钢化处理 小尺寸的玻璃则要进行化学钢化 。对于离线镀膜玻 将在线导 电膜玻璃和离线 ITO膜玻璃在 450 璃 ，可以先镀膜再钢化 ，也可以先钢化再镀膜；对于