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热处理温度对ZnO∶Al薄膜性能的影响-光子学报.PDF

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热处理温度对ZnO∶Al薄膜性能的影响-光子学报

第 卷第 期 光 子 学 报 37 12       Vol.37No.12 年 月              2008 12 ACTAPHOTONICASINICA December2008 热处理温度对 ZnO∶Al薄膜性能的影响  杨春秀,闫金良 ,孙学卿,李科伟,李俊 (鲁东大学 物理与电子工程学院,山东 烟台 264025) 摘 要:利用溶胶 凝胶技术在玻璃衬底上制备了 薄膜,表征了薄膜的结构、光透过和光  ZnO∶Al   致发光特性,探讨了热处理温度对薄膜晶体结构和光学性质的影响 结果表明,在热分解温度 . 和退火温度 时, 薄膜的 轴择优取向明显,透过率较高 在热处理温度 400℃ 600℃ ZnO∶Al C . 400℃情况下,激发波长 340nm的光致发光谱中有三个发光中心,紫外发光强度随退火温度的升 高先升高后下降, 时发光强度最强 其它两个发光峰的强度随退火温度的升高而降低甚至消 500℃ . 失 激发波长不同, 薄膜的发光中心和强度均发生变化 . ZnO∶Al . 关键词:溶胶 凝胶法; 薄膜;热处理;晶体结构;光致发光  ZnO∶Al 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) O484 A 1004421320081224784           备用 以康宁 玻璃为衬底,采用旋涂法制 0 引言 48h . 1737   备薄膜,甩胶机的转速为 / ,每涂一层,在 3000rmin 氧化锌( )是一种直接宽带隙( ) ZnO 犈=3.36eV 恒温干燥箱中干燥 ,得到凝胶薄膜 然后在 g 10min . 半导体材料,室温下具有较大 的激子束缚 能 不同温度下热处理 1min,冷却至室温后重复以上 [] 1 ( ),容易实现高效率的激光发射 近年来, 60meV . 操作,得到所需层数,薄膜厚度为 560nm.最后薄膜 由于蓝光和紫外光等短波长发光器件和激光器的巨

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