海德汉直线光栅尺技术参数(HEIDENHAIN).pdf

敞开式直线 光栅尺 2007年5月 敞开式直线光栅尺 直线光栅尺测量直线轴位置时不存在任何 敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测 机械结构 附加的机械传动元件。因此，它能消除以 量的机床和系统。典型应用包括： 敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢带光栅 下潜在误差源： • 半导体工业的测量和生产设备 尺和扫描头，光栅尺和扫描头间无机械 • PCB电路板组装机 接触。 • 由于滚珠丝杠温度特性导致的位置误差 • 超精密机床，例如加工光学元件的金刚 • 反向误差 石刀具车床，加工磁盘的端面车床和加 敞开式直线光栅尺的长光栅直接固定在安 • 滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差 工铁氧体元件的磨床 装面上。安装面的平面度直接影响直线光 • 高精度机床 栅尺精度。 因此，直线光栅尺已成为高精度定位和高 • 测量机和比较仪，测量显微镜和其它精 速加工不可或缺的必备条件。 密测量设备 • 直接驱动 其它样本还有 • 带内置轴承角度编码器 • 无内置轴承角度编码器 本样本是以前样本的替代版，所有以前 • 旋转编码器 版本均不再有效。订购HEIDENHAIN公 • 伺服驱动用编码器 司的产品仅以订购时有效的样本为准。 • NC数控机床用直线光栅尺 • 接口电子设备 有关相应的适用标准（ISO，EN等）， • HEIDENHAIN数控系统 请见样本中的特别标注。 欢迎索取，或访问 。 目录 概要 敞开式直线光栅尺 2 选型指南 4 技术特点 测量原理 测量基准 6 增量测量法 7 光电扫描 8 测量精度 10 可靠