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石墨舟装片冷却一体机
苏州仁川洁净科技有限公司
石墨舟装片冷却一体机
公司简介
我公司是集研发、设计、施工管理、品质管理、生产和销售一体服务的科技型综合公
司。专业于空气净化工程，空气净化设备，消静电产品及不锈钢医疗器械，检测仪器仪表等。
产品广泛应用于电子、微电子、半导体、光伏、新能源、生物、食品、化妆品、印刷、包装、
激光工业、光通讯、实验室、IC制造、医药、雷射、光学、磁能、航空、化学、模具、机
械加工等相关单位，在未来发展中我们将秉承奉献、服务为基本理念。共同创造科技、生活、
生产的洁净舒适空间,我们时刻准备着为您提供最优质的服务。
产品介绍
本设备是用于太阳能行业与PECVD承载车配套，装去硅片，配制高效过滤器，空气通过
高效过滤器后，阻尼层均压，使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区，从而保证了工作
区达到工艺要求的洁净度。
主要特点
1 能够确保与PECVD石墨舟承载车准确定位；
2 采用SUS304不锈钢制造，整机结构坚固可靠；
3 采用GK系列高效空气过滤器；
4 净化风机噪音小于50dB；
⑤ 保证工作区域内所达到工艺的洁净度。
⑥ PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度;
冷却功能
1、能准确的使石墨舟承载装片定位。
2、经过滤的洁净空气有送风机分散吹向石墨舟，保证石墨舟快速冷却。
座机：0512
苏州仁川洁净科技有限公司
技术要求：
1、整个冷却房采用不锈钢制作，保证整个设备坚固可靠。
2、进入吹风的空气必须经中效过滤网过滤。
3、吹风机两台，左右各一台，风量1000m3/h。
4、顶部装有吸风罩和手动调节阀，可调节风量和风速。
5、为达到节电效果，必须安装自控装置，当小车进入冷却房后自动启动，冷却到规定时间
或小车离开冷却房后都能自动停止。
6、为防止被小车撞击后移动，减震地脚选用能安装膨胀螺钉的地脚。
7、净化风机噪音小于50dB；保证每个部位都能吹到。
8、光电感应自动吹风，微电脑控制。
座机：0512
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