原创力文档- 1、本文档共4页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
碳氟等离子体改性PET表面的反应机制的研究_张亮
Vol. 19 高 等学校 化学 学 报 No. 11
1 9 9 8 11 CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSIT IES
PET *
张 亮 樊孝平
(, (
, , 100871) , , 124021)
王建祺
(, , 100081)
CF CH /CF (PET ) ,
4 4 4
. ( )
PET X XPS PET
. , PET .
, , PET
; CF4 , PET .
, XPS, , , ,
O647. 1
.
30 , .
,
[ 13]
. ,
[ 1, 3]
, , ,
.
PET .
; ,
[4]
, .PET ,
PET , , XPS
PET .
1
1. 1
( CH4) : 99.99%() , (CF4) : 99. 9%(
) .
(PET) : , 0. 1 . 6 c 6 c
PET 34 h, , , ;
34 h, . , XPS ,
.
: 1997-11-26. : , , 35 , .
* .
1854 高 等学 校 化学 学 报 Vol. 19
1. 2
GPP-1( ) .
JG-C-300 , 13.56 MHz.D08-2A/ZM
() .
-82 () , 0.5.
JY
(Sessile drop).
XPS PHI 5300 X ( Perkin-El er ) ,
( 1486.6 ) , 250 ( 12.5 20 ) , 35.75 ,
Al K eV W kV A eV
10- 7 , 104590(
Pa X
) Apollo Series 3500 .
PET (6 c 6 c ) , 3. 0 Pa,
, .
XPS PET .
2
2. 1PET
1PET .
4
, CF ,
,
PET
.
. ( 4)
CF
, CF ;
4
( CH ) , HF ,
Fig.1Plot of deposition rate vs. molar ratio
x ( = 13) ,
CF x
in CH4 CF4 feed/
[5]
.
60 W, 0. 1GJ/ kg, 10 in.
文档评论（0）