钛合金表面磁控溅射TiB_2_TiN复合薄膜的摩擦磨损性能.pdfVIP

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2017-06-01 发布于浙江
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钛合金表面磁控溅射TiB_2_TiN复合薄膜的摩擦磨损性能

（）年增刊卷４８０２０１０３４１钛合金表面磁控溅射ＴｉＢＴｉＮ复合薄膜的摩擦磨损性能＊－２，，，，，陈丹许晓静田琨辛喜玲于春杭盛新兰　　（，）江苏大学先进成形技术研究所江苏镇江２１２０１３摘要：采用室温磁控溅射技术在钛合金在国内外未见相关报道。　　（）／，Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ表面制备ＳｉＣＴｉＢＴｉＮ双层薄膜ＳｉＣ为－２２实验　　，中间层研究了ＴｉＢＴｉＮ复合薄膜的组织结构和摩擦－２。，磨损性能结果表明ＴｉＢＴｉＮ复合薄膜具有纳米尺（，）：－基材的名义化学成分质量分数为２Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ％（），度颗粒畴的微结构特征ＳｉＣ薄膜与基材和ＴｉＢ－，，，，，２５．５６．８Ａｌ３．５４．５Ｖ０．３０Ｆｅ０．１５Ｓｉ０．１０Ｃ～～；ＴｉＮ复合薄膜间都具有明显且呈梯度的元素扩散在，，，。０．０５Ｎ０．０１５Ｈ０．２０Ｏ其余为Ｔｉ基材经砂纸磨、，载荷２００室温Ｋｏｋｕｂｏ人体模拟体液条件下与氮化ｇ、。平抛光后用丙酮进行超声波清洗采用ＦＪＬ６００Ｅ１硅（）（），ＳｉＮ球直径４ｍｍ对摩其平均摩擦系数约为３４型高真空多功能离子束溅射与磁控溅射镀膜装置制备