主軸位移磁感測系統設計及測試.pdf

中國機械工程學會第二十四屆全國學術研討會論文集 中原大學 桃園、中壢 中華民國九十六年十一月二十三日、二十四日 論文編號： B14-0014 主軸位移磁感測系統設計及測試 1 2 1 3 1 1 沈俊男 、朱明輝 、范憶華 、蔣旭堂 、康淵 、張永鵬 1 中原大學光機電及資電控產業研發碩士專班研究所 2 東南科技大學機電科技學系 3 托爾真空股份有限公司 系統的特點，設計了靜態和動態實驗系統，實驗表明 摘要 綜合測量精度δ≤ ±0.1％，頻率響應可以達到200Hz 。 本論文是根據現有真空幫浦的數據測試，自行繞 最後將測量系統集成於微動機器人系統中。 製一組差動變壓器來量測主軸的位移量，並設計類比 2002年，邢志強等人[4] 採用AD598芯片對FADEC 式的位移感測器電路進行訊號處理，並且測試差動放 系統中的位移傳感器 LVDT進行輸出信號調理，介紹 大輸出電壓比值以及位移感應大小。 了電路連接和外接元件的計算。該方法所需元件少， 差動變壓器型式位移感測電路包含振盪電路、功 電路簡單且精度較高。 率放大電路、濾波電容之整流電路、差動放大器電路 2005年，楊朝英[5]說明互感式傳感器的原理、 及非反相放大電路等。利用 XYY軸精密自動定位平台 磁懸浮軸承的特點以及磁懸浮軸承系統對傳感器的 量測其位移， XYY軸移動量可達 0.01mm ，使操作者 使用要求，設計、制造了用於磁懸浮軸承系統的差動 可正確量測主軸的位移量，達到量測的目的。 變壓器式位移傳感器，採用線性差動變壓器信號處理 差動變壓器型式位移感測電路可量出靜態輸出 芯片AD598完成了傳感器測量電路的設計。在靜態標 電壓比值以及位移感應大小，實驗結果具有較好的線 定過程中，針對線圈匝數、磁極夾角、轉子材料、氣 性度及較高的靈敏度。動態上是用模態分析軟體以感 隙大小、激勵電壓幅值、激勵頻率等對傳感器的性能 測器為時域信號輸出，衝擊鎚敲擊主軸為時域信號輸 有重要影響的因素進行試驗研究，所製作的傳感器具 入，由頻譜分析儀以快速傅立葉轉換得到振幅值及相 有較寬的線性範圍、較好的線性度、較高的靈敏度。 角，最後以電容式位移計規格為基準與差動變壓器感