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钽电容器用钽壳内壁RuO2薄膜电极的表征及电化学性能
第25 卷 第8 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 25 No. 8
2010 年8 月 Journal of Inorganic Materials Aug., 2010
文章编号: 1000-324X(2010)08-0882-05 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2010.00882
钽电容器用钽壳内壁 RuO2 薄膜电极的表征及电化学性能
甘卫平, 刘继宇, 刘 泓, 李 祥, 马贺然
( 中南大学 材料科学与工程学院, 长沙 410083)
摘 要: 采用涂覆热分解氯化钌的方法, 在金属钽壳内壁表面形成二氧化钌薄膜涂层, 作为钽电容器的负极材料,
可以提高全钽电容器的寿命及可靠性. 采用扫描电子显微镜和 X 射线衍射仪对二氧化钌薄膜的表面形貌和结构进
行表征. 采用循环伏安、恒流充放电和电化学阻抗谱等测试手段来表征二氧化钌薄膜电极的电化学性能. 研究结果
表明, 热处理温度为280 ℃时制备的二氧化钌薄膜呈无定形的非晶态, 薄膜电极具有212F/g 的电容量, 电化学性能
良好. 组装成ST3 型60V330μF 全钽电容器, 经过赋能、电老化后容量约为345μF, 等效串联电阻小于 1Ω, 漏电流
小于10μA.
关 键 词: 钽电容器; 二氧化钌; 薄膜电极
中图分类号: TM53 文献标识码: A
Characterization and Electrochemical Properties of RuO Film Electrode on the
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Inner-wall of Tantalum Shell for Capacitor
GAN Wei-Ping, LIU Ji-Yu, LIU Hong, LI Xiang, MA He-Ran
(School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, China)
Abstract: Using the methods of coated and thermal decomposed ruthenium chloride, the RuO thin film was syn-
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thesized on the inner-wall surface of tantalum shell. Its morphology and structure were characterized by scanning
electron microscope and X-ray diffraction. The electrochemical performances of the RuO2 thin film electrode were
tested by cyclic voltam
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