电涡流位移传感器线圈电磁场仿真分析_罗承刚.pdfVIP

( ) 　　　　　　　　传感器与微系统 Tran sducer and M icro system Techno logie s 　　　　　　　　　2008年 第 27卷 第 3期 24 电涡流位移传感器线圈电磁场仿真分析 罗承刚 (中国工程物理研究院 结构力学研究所 ,四川 绵阳 621900) 摘 　要 : 由于电涡流传感器的探头参数对其性能的影响比较显著 ,设计电涡流传感器的关键在于对探头 ( ) 线圈进行优化 。采用有限元技术 A n soft M axwell软件 对包括线圈和金属靶板的电涡流位移传感器进行 电磁场数值仿真 ,得到了激励线圈的磁力线和被测靶板中电涡流的密度分布 。并通过线圈等效阻抗的实 验与计算结果定量比较 ,验证了仿真分析过程的正确性 ,为进一步完善传感器的理论分析和优化设计打下 了基础 。 关键词 : 电涡流位移传感器 ; 线圈; 电磁场 ; 有限元 中图分类号 : TP2 12　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 1000 - 9787 (2008) 03 - 0024 - 03 Electromagnetic sim ula tion and ana ly sis for co il of eddy curren t prox im ity sen sors LUO Chenggang ( In stitute of Structura l M echan ics, Ch ina A cadem y of Eng in eer ing Phy sics, M ianyan g 621900, Ch ina) A b stract: Param etric change s of eddy curren t sen sors have sign ificant influence on its p erform ance s, so the key for de sign of the sen sors is to op tim ize p robe co ils. E lectrom agnetic num erical sim u lation for eddy cu rren t p roxim ity sen sors including coil and m etallic target is fin ished w ith fin ite elem en t analysis software A n softM axwell. M agnetic line s from excitation co il and eddy curren t den sity distribu tion in target are calcu lated. Exp erim en tal re su lt and sim u lating re su lt of coil imp edance are comp ared quantitatively, and the accu ratene ss of sim u lation p rocess is verified, so it w ill contribute to fu rther p erfect theoretical analysis and op tim al de sign for eddy cu rren t sen sors. Key word s: eddy cu