一氟化碳电子态的光谱性质及预解离机理的理论研究.pdfVIP

物 理 学报 ActaPhys．Sin．Vo1．64，No．15(2015) 153101 一 氟化碳电子态的光谱性质和预解离机理的 ’ 理论研究冰 邢伟 )十 刘慧 ) 施德恒2) 孙金锋2) 朱遵略2) 吕淑霞 ) 1)(信阳师范学院物理电子工程学院，信阳 464000) 2)(河南师范大学物理与信息工程学院，新乡 453007) (2014年 12月23日收到；2015年3月20日收到修改稿) 采用考虑Davidson修正的内收缩多参考组态相互作用ficMRCI+Q)方法结合相关一致基组aug—CC— pV5Z和aug-cc—pV6Z首次计算 了一氟化碳 (CF)11个A—S态 (x0Ⅱ，a∑一，A0∑+，B2A，14Ⅱ，12∑一，24Ⅱ， 1△，1∑十， 2∑一和2∑一)所产生的25个Q态的势能曲线．计算中考虑了旋轨耦合效应、核价相关和标量 相对论修正以及将参考能和相关能分别外推至完全基组极限．基于得到的势能曲线，获得了束缚和准束缚的 A—S态和Q态的光谱常数，与 已有的实验结果非常符合．分析了束缚和准束缚的A．S态在各 自平衡核间距R 处的主要电子组态．由于1Ⅱ和2Ⅱ态的避免交叉，发现准束缚态2Ⅱ．由A．S态势能曲线的交叉现象，借助 于计算的旋轨耦合矩阵元，分析了a∑一和B△态的预解离机理．计算了25个Q态的离解关系，给出了它们 的离解极限．最后研究了A ∑+一x Ⅱ跃迁特性，本文计算得到的A2∑+一x2Ⅱ跃迁 的Frank—Condon因子 和辐射寿命与已有实验值也符合得非常好． 关键词：旋轨耦合，光谱常数，预解离，Frank-Condon因子和辐射寿命 PACS：31．15．aj，31．15．ae，33．80．Gj，33．70．Ca DOI：10．7498／aps．64．153101 x0Ⅱ， A ∑+和B△态的光谱常数．随后的几十 1 引 言 年里，通过详细地研究CF自由基的从紫外到远 红外光谱 区域 的电子光谱，一系列价态被描述． 一 氟化碳 (CF1自由基在天体物理学 【，]、半导 1979年，Huber和Herzberg[1O】把之前报道 的一些 体等离子体蚀刻 3[-6]和微 电子器件制造 【]中扮演 精确的光谱常数 以及x Ⅱ和B△态的旋轨耦合 着非常重要的角色．例如，CF自由基可能存在于冷 常数收录在他们 的专著中． 1979年之后，仍有 星际分子云中[1】并且是上层大气的主要污染物 2【]． 一 些的实验 7【，l1—2o]研究 了本文所涉及 的X2H， 在等离子体 中CF自由基用于蚀刻或修饰硅半导体 a4E一 A2E+~一势阱和B2A态的光谱特性．总结 器件 3【—6】；在微电子工业中广泛使用基于CF自由 ， 基气体的等离子体进行选择性的介电蚀刻、清洗化 这些实验数据，我们发现：1)对于X Ⅱ态，获得 学气相沉积后的腔室和其他等离子表面_7J． 了精确 的光谱常数 [7,9--11,13,17,19】和旋轨耦合 常 历史上，早在1950年Andrews和BarrowIs】报 数 1【0，13，14，16，17，19]：21对于aE一态，仅获得V =0 道 了CF自由基A2E+--X2Ⅱ跃迁的发射谱．第二 时的激发能、核间距 的平均值和惯性转动常数 年，他们 9【]再次研究了A ∑+一