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635nm 和用于 DVD 的 650nm AlGaInP 可见光激光器研制 马骁宇 郭 良 王树堂 曹 青 王丽明 杨亚丽 张洪琴 张晓燕 茅冬生 谭满清 王国宏 张广泽 马素洪 王仲明 陈良惠 中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心 北京市 912 信箱，邮编：100083 电话传真 电子信箱：nerc@mimi.cnc.ac.cn 摘要：本文针对 635nm 和用于 DVD 的 650nm 红光激光器制备的技术难关,重点在解决 GaInP/AlGaInP 的MOCVD 生长技术,低像散器件结构设计,二次选择外延生长技术等关键工 艺技术方面进行了研究。在国内首先研制成功DVD 用 650nm 激光器,其阈值电流 20-40mA, 输出功率 5-20mW,工作温度-10-70℃等各项指标均满足DVD 要求,并通过了DVD 光学头组 装厂的试用。在国内首先研制成功 635nm 激光器,阈值 40-60mA,输出功率 5mW,工作温度 -10-60℃。 关键词：DVD, GaInP/AlGa