恒流法制备图案化的阳极氧化铝模板.pdfVIP

邵增军 等 :恒流法制备图案化的阳极氧化铝模板 305 恒流法制备图案化的阳极氧化铝模板 邵增军 ,彭 　智 ,宋国君 ,李晓茹 ,王树龙 (青岛大学 高分子材料研究所 ,山东 青岛 26607 1) 摘 　要 : 　采用紫外线光刻技术在铝片上生成预设图 2 　实 　验 案 ,用恒流二次氧化法在图案化的铝片上生长 AA O , 以此模板制备了 P S 和 Cu 纳米线阵列 。采用扫描电 2 . 1 　图案化铝片的制备 ( ) ( ( ) ) 子显微镜 SEM 分析 。结果表明 ,制备的图案是直径 将 高 纯 铝 片 99 . 999 % 质 量 分 数 裁 剪 成 μ μ μ 5 m 的圆形组成 ,圆形图案中心之间距离是 10 m ,每 13mm 、厚 400 m 的圆形薄片 ,备用 。匀胶 : 室温下 个圆中生长了均匀的 A A O ,孔径大约为 60～80nm 。 在铝片的表面进行快速匀胶实验 ,光刻胶用量为0 . 2 关键词 : 　紫外光 ;一维纳米结构 ;光刻胶 ; 图案化模板 ml 。前烘 :于 90 ℃干燥带胶铝片 15min 。曝光 :用中心 中图分类号 : 　TB383 文献标识码 :A 波长为 365nm 的紫外灯曝光用掩模覆盖的样品 1min 。 ( ) 文章编号 :100 1973 1 2009 坚膜 :将曝光后的样品放入干燥箱于 90 ℃干燥 15min 。 显影 :将所得样品在显影液中显影 20 s 以除去被曝光 1 　引　言 部分 。洗涤 : 最后用去离子水清洗样品 , 并用氮气吹 ( 随着纳米技术的发展 ,小型或微型图案化器件 如 干 。 流体纳米器件和微反应器[ 1 ] 、微电子领域中的集成电 2 . 2 　图案化 A A O 模板的制备 [2 ] [3 ,4 ] ) 路 、芯片加工厂 等 的重要性在微电子 、光学 、微 将 2 . 1 裁剪的圆形铝片 , 于 400 ℃的真空中退火 分析 、微机械 、细胞生物学等领域得到越来越充分的体 4 . 5h 后 ,丙酮除油 ,氢氧化钠除氧化膜 ,清洗干净 ,于 [ 5 ] ( ) 现 。目前 , 已通过多种微加工技术制备了多种材质 无水乙醇和高氯酸的混合液 体积比为 9 ∶1 中进行 [ 6～10 ]