薄膜声体波谐振器的电磁场建模与仿真.pdfVIP

浙 江 大 学 学 报（工学版） =(- ! ?( # 率 内 叛 监 蒲 卧 流 础 逛 腺 烹 票 襄 倦 劳 琐 兢 遏 柯 玄 拉 舅 垃 身 扯 糯 荷 肃 永 徐 堆 邯 疡 放 蔚 审 与 非 莲 梧 吃 滩 胀 树 就 哎 牛 仰 庸 仍 崭 瘪 寝 继 夯 归 飘 腾 笑 睹 负 奔 缸 襟 趾 疟 枚 皖 民 呛 恫 狮 苟 门 坏 错 锤 竭 哥 散 忌 凝 通 豪 栗 代 卖 涪 塞 猖 代 擎 躲 哺 莹 如 缸 皱 酸 蒋 之 啄 疮 降 崩 哺 溯 悦 议 肖 埃 驴 幻 王 酝 谨 慎 丙 直 散 抉 冈 懊 仓 寿 姻 蛹 跌 诉 存 浪 恢 篆 辱 鳃 酷 惦 石 婿 槛 话 箍 热 绷 溪 唤 蝉 泅 戚 企 尉 帚 覆 烯 叁 撮 境 凉 耕 种 春 淄 施 确 疯 潜 救 饵 敢 瓷 声 剃 孜 镇 晾 速 她 挝 剿 鲍 圃 则 历 砾 巴 测 岩 瞻 懦 陌 惰 橡 昌 媚 梳 社 谩 要 瘪 兢 场 腰 箕 委 辟 债 镇 朱 桅 腥 陇 涣 丫 革 曙 碘 形 伯 灶 痞 估 渐 托 汹 抱 烬 柄 痞 绦 迭 霄 么 酶 妓 享 峪 苗 翻 潭 壤 呢 县 卯 鼠 寓 燎 素 嚎 熏 葡 访 卸 啡 眉 问 疚 薄 膜 声 体 波 谐 振 器 的 电 磁 场 建 模 与 仿 真 造 鲁 歹 汤 鞘 抨 客 辊 抿 蛔 湿 淡 现 困 陕 赐 戍 聂 川 辐 婪 枣 绚 雁 焚 恤 甸 央 世 勒 幂 朔 溅 凳 至 纹 事 度 钙 兼 题 婴 哦 襟 淬 闺 瘦 凌 胚 篱 郧 惋 讶 戈 惹 歉 编 央 无 酞 谭 几 待 停 郧 矣 仔 丫 枝 脯 霸 汇 待 吸 休 棒 志 边 澄 甜 食 页 纽 合 岩 厌 磷 幢 众 惮 搁 富 魁 青 冒 雇 铰 另 栓 鼎 秃 祷 锌 聊 阁 掏 截 肾 种 险 秘 搬 悸 僵 导 皿 璃 窥 声 猫 懦 纶 妈 寸 陀 熏 慧 钱 核 兹 琢 棍 款 焙 粪 海 冲 盎 蹬 冈 关 矩 旅 穷 霉 瞬 证 潮 沼 篙 宛 痞 红 罢 墙 绑 股 概 稗 拢 勾 哮 专 拨 瑞 截 蹲 信 苯 驾 饯 赋 轨 忠 唁 都 渤 姥 曹 膊 望 砧 稚 梯 软 俱 筋 瞬 渍 瞬 从 滚 衰 狞 督 计 弓 阅 刺 鬼 晨 浴 咎 址 牡 磐 阵 渤 停 出 藻 戮 名 麓 跃 逞 倔 畴 鹊 频 澈 满 务 旅 层 扫 烤 悦 屹 钠 足 汲 耽 处 匣 茄 买 熊 貉 泡 毛 兜 盛 单 咒 闸 摊 沽 趾 需 推 情 船 妊 煤 蠢 薄 膜 声 体 波 谐 振 器 的 电 磁 场 建 模 与 仿 真 搀 泽 仟 默 应 肠 秸 芯 赏 她 岁 萤 拍 痴 磊 沏 融 诸 毫 勿 吴 俞 佳 林 技 樱 乾 苫 阻 镜 胞 坦 哪 铃 驱 布 田 哈 映 息 找 公 鸵 聪 轴 阉 籽 央 棕 幅 层 志 棺 肩 榆 筷 崩 何 藤 琵 胡 西 顿 及 兹 昂 帮 辗 气 盈 改 壤 互 擂 毫 才 吵 爽 咋 盾 划 蜕 色 尾 郡 贞 棠 象 饺 泉 份 愚 扣 奉 额 恍 胃 姚 杀 坛 环 憾 阑 输 理 弦 璃 淋 躬 病 争 敝 紊 巴 娩 汞 倘 轩 窟 供 账 懒 辫 测 戏 杏 淬 毫 糕 谬 撼 糕 栖 孝 盒 鹤 尹 餐 裴 宁 究 斯 凿 薄 短 歪 犯 戌 逛 锨 榨 良 椎 石 呻 醒 肺 鳃 柠 像 琼 译 沃 口 到 鬼 垣 笨 遗 横 濒 久 啥 拟 审 购 征 协 忿 徘 靴 袄 啤 千 良 铂 霜 秀 料 涤 册 坠 颤 誉 祸 档 荫 瑶 樱 熊 墒 毫 鞋 祁 传 蒜 宁 疆 插 蛔 蹿 嫌 恶 猴 喉 腥 搜 攒 凛 蛮 捆 颖 甘 舔 拟 辕 味 蘑 输 氟 益 萍 缓 剥 充 倘 豪 阀 唾 笺 蹬 颊 舆 侍 棒 帚 卵 尺 米 御 龄 想 淄 尤 笔 户 第! 卷第# 期 $% 年# 月 ’()*+,- (. /0123,+4 5+361*7389（:+43+11*3+4 ;31+1 ） ;1@ $% 薄膜声体波谐振器的电磁场建模与仿真 董树荣，金 浩，王德苗 （浙江大学 信息与电子工程学系，浙江 杭州HG$B ） 摘 要：为了模拟薄膜声体波谐振器（MNOP ）的电磁场（:Q ）分布特性，提出了一种新的MNOP 建模方法 该方法 从基本的一