CMOS工艺兼容温湿度传感器.pdfVIP

第 26 卷 　第 7 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 26 　No . 7 2005 年 7 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S J uly ,2005 CMOS 工艺兼容的温湿度传感器 彭韶华 　黄庆安 　秦 　明　张中平 ( 东南大学 M EM S 教育部重点实验室 , 南京 　2 10096) 摘要 : 设计并制备了一个 CMO S 工艺兼容的温湿度传感器 ,讨论了感湿理论模型并用 COV EN TOR 软件进行了模 拟 ,给出了具体的结构参数及工艺制作步骤 ,最后对温湿度传感器进行了测量 ,对理论值和实际测量值做了比较并 给出了分析结果. 结果表明 ,传感器在 25 ℃时的灵敏度为 00 15p F/ %R H ,从 15 %R H ～95 %R H , 电容实际变化量 为 123p F . 关键词 : 温湿度传感器 ; 聚酰亚胺 ; 电容型 EEAC