具有三维力反馈原子力显微镜纳米操作系统.pdf

第 27 卷 　第 7 期 仪 器 仪 表 学 报 Vol27 No7 2006 年 7 月 Chinese J ournal of Scientific In st rument J ul 2006 具有三维力反馈的原子力显微镜纳米操作系统 1 ,2 1 1 ,2 1 ,2 1 1 田孝军 　王越超 　刘连庆 　焦念东 　董再励 　席 　宁 n 1 ( 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室 　沈阳　1100 16) 2 ( 中国科学院研究生院　北京 　100039) c . 摘要 　在基于原子力显微镜的纳米操作过程中 , 由于缺乏实时反馈信息 ,造成纳米操作效率低下且灵活性差 , 同时探针因受 力过大而损坏 。为此 ,本文通过对探针受力 - 悬臂变形进行建模 ,并根据实时检测到的悬臂变形信号 、新的参数获取与校准 方法 ,从而获取探针所受的实时三维纳米力 。将此三力经比例放大后送入力/ 触觉设备进行感知 ,操作者就可以实时调节施 加在探针上力的大小及探针的运动轨迹 ,使得操作的效率及灵活性明显提高 ,且可以避免探针因受力过大而造成损坏 。纳米 m 刻画和多壁碳纳米管的操作实验验证了系统的有效性 。 关键词 　原子力显微镜 　纳米操作 　三维纳米力 o 中图分类号 　T H742 　TP29 　文献标识码 　A 　国家标准学科分类代码 　5 10 . 8040 c AFM based nanomanipulation system with 3D f orce f eedback . Tian Xiaoj un1 ,2 　Wang Yuechao1 　Liu Lianqing1 ,2 　J iao Niandong1 ,2 　Dong Zaili1 　Xi 　Ning1 1 ( ) R obotics L aboratory , S heny ang I ns ti t ute of A utom at ion , A ca demy of S ciences , S heny ang 1100 16 , Chi na 2 ( m ) Gra d uate S chool , A ca demy of S ciences , B eij i ng 100039 , Chi na Abstract 　Due