新型大位移低驱动力之梳状式静电致动器设计与应用.ppt

新型大位移低驅動力之梳狀式靜電致動器設計與應用 報告人：陳垠余 指導教授：郭文正 博士　 數位化模具技術論文發表會 MEMS 國立高雄第一科技大學 機械與自動化工程系 大綱 前言 實驗內容 量測 結論 MEMS MEMS 前言 早期靜電致動器是由兩平行電板所組成，利用平行板電容間的靜電力來驅動，但其在位移上受到很大的限制，且位移與電壓為非線性關係，因此在控制上較為困難。 梳狀式靜電致動器的發明，有效增加其位移量，改善了位移上的缺點，所產生的位移也與輸入電壓呈現線性關係。 圖1 平行電容板示意圖 圖2 梳狀致動器之基本結構 前言 除了輸入的電壓之外，懸掛支撐機構之彈簧係數大小也會影響位移量的變化。現有的梳狀式靜電致動器大多以矽材質為主，若應用於大位移上，矽之較大楊氏係數便會需要更大之驅動力。因此，利用較軟之結構材質取代矽即為本研究之主要考量。 本研究使用聚對二甲苯(簡稱為Parylene，其楊氏係數約為2~5 GPa)用於靜電致動器之支撐機構中。使用Parylene材質有三種優點；第一，較低之楊氏係數；第二，為一延性材料，可允許較大之彈性變形；第三，熱膨脹係數僅約為SU-8或其他polymide之30 % MEMS 實驗內容 梳狀式靜電致動器原理 指電極在y方向所產生之 靜電力： 其中： 為真空中之介電係數 　 為施加電壓