！型槽栅金属氧化物半导体场效应晶体管抗热载流子效.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ， ， ， 6$ ! %### ! 8BC(6$.B(!DEC %### F ／ ／ （ ）／ ###/5%$#%###6$#! %6/#’ ?-3?=@A1,-?1,.,-? %###-GHI(=GJ(1BK( F 型槽栅金属 氧化物 半导体场效应晶体管 ! 抗热载流子效应的研究! 任红霞 郝 跃 许冬岗 （西安电子科技大学微电子研究所，西安