第三讲光学零部件的基本量测量.doc

第三章光学零部件的基本量测量 §3-1球面曲率半径的测量 概述 工厂通过看光圈检验球面面形 基准样板 工作样板 零件 样板根据不同要求分为A,B两级 基准样板通过测曲率半径检验 2mm≤R≤35mm 用玻璃球在立式测长仪上测量 机械法5mm≤R≤1200mm用圆环球经仪 37.5—550 0.03% 550,37.5 0.06% 阴影法1000mm≤R≤几十米 刀口仪 0.05% 自准直法 R≥几十米 自准直望远镜 10—103m 1% R≤500mm 自准直显微镜 凸0—25mm 凹0—500mm ±0.002 §3-1-1机械法 测量原理 为防止磨损环口上放三个钢球 测量方法和装置 装置 圆环球经仪 方法 样板 A平板玻璃放在还口上读取a1 B球面放在还口上读取a2 C计算h=a2-a1 (2)标准样板(对板) A凸面放在环口上读取a1 B凹面放在环口上读取a2 C计算 2h=a2-a1 测量误差分析 ， 由下列影响因素 刻尺误差 经修正可达 阿基米德螺旋线测微目镜误差 显微镜对准误差 不同重量引起的测量环变形 精度37.5—550 0.03% 550,37.5 0.06% 4、环口选择 另 （K），（K）在定义域内为单调函数有端值 0 0．25 0．5 0．75 1 （K） ∞ 7．88 3．73 2．20 1．00 （K） ∞ 30．5 6．64 1．95 0 K取0.75较合适 优缺点 优点：精度高、测量范围宽、零件不用抛光、操作方便 缺点：磨损 §3-1-2自准直法 准直望远镜法 测量原理 当时 测量装置及方法 1）、装置：带有伸缩筒的自准直望远镜 2）、方法 A用平面反射镜自准读取a1 B用被测球面自准读取a2 C计算 ， 3、误差分析 ，， 实际上用分析 其中 主要有三个因素决定 纵向调焦误差 调焦误差 自准时 调焦两次 （2）平面镜的面形误差 修正 凹面取正凸面取负 （3）伸缩筒格值误差 例：用自准直望远镜测一透镜曲率半径已知D=50mm,D/f′0=1/10Γ=20×平面镜口径D0=60mm,N=0.2(在50mm范围内)测得xˊ=5mm,1mm,25mm 解： 取清晰度法 若xˊ=5mm, 若xˊ=1mm, 若xˊ=25mm, 若d=200mm 优缺点 优点：可测大曲率半径、非接触测量、设备简单 缺点：精度低（0.2%~10%）、只适用于大曲率半径、被测零件要抛光 准直显微镜法 测量原理 测量方法和装置 装置：光学球经仪 方法： A显微镜的准球心看到自准反射象记下读数a1 B显微镜的准球面看到自准反射象记下读数a2 C计算R=a2-a1+x0 误差分析 A夹持器座定位误差 B刻尺刻线误差 C投影读数器误差 D显微镜两次调焦（清晰度法）的标准偏差 例：用光学求经仪测曲率半径，已知：求调焦误差 可见提高和可提高测量精度 但1、大大工作距小凸面测量受限 零件口径D/R小时NA不能充分利用达不到提高精度的目的反而会因放大率大光束孔径小使视场暗降低调焦精度 优缺点 优点：非接触测量表面不会磨损、可测小曲率半径、精度高（0.001~0.002） 缺点:表面必须抛光、测量范围小（凸大于25mm凹小于500mm ）、仪器调整复杂 §3-1-3阴影法 测量原理 R=SC=HC △R=R-L=HC-HA≈BC ABC∽△HHˊC 测量装置及方法 （1）装置：刀口仪 测量方法 A使刀口位于球心处 B量L C计算 测量误差分析 A米尺误差 B调焦误差 ， 例：D=130mm,R=1300mm 可见调焦误差很小不是主要矛盾 精度 优缺点 优点：非接触测量、可测大曲率半径 缺点：被测面必须抛光、只能测凹面 测面形 精度：自准 检测球面平面、非球面面形偏差、大口径光学面抛修的工艺检验 一、检凹球面镜的面形偏差 ． 1．检测原理 理想的会聚球面波 判别准则：阴影移动与刀口切入方向相同，刀口位于光束会聚点之前；阴影移动与刀口切入方向相反，刀口位于光束会聚点之后；阴影图呈均匀的半暗状态，刀口刚好切至光束会聚点处。 2）若待检面存在局部偏差和带区误差，待检面存在的局部偏差很容易从阴 影图中发现。当刀口刚好切至波面会聚点时，则在半暗背景中出现局部偏差的轮廓M，若M中的阴影移动方向与刀口切入方向相同，则M较波面其它部分是凸起的；反之，M是相对凹下的。 如待检面的