第3章压力测量精品.ppt

第四节 电气式压力计 令： 第四节 电气式压力计 3. 压阻式压力传感器 压阻元件是基于压阻效应工作的一种压力敏感元件，它指在半导体材料的基片上用基成电路工艺制成的扩散电阻，当它受外力作用时，其阻值由于电阻率的变化而改变。 扩散电阻正常工作需依附弹性元件，常用的是单晶体硅膜片。 第四节 电气式压力计 第四节 电气式压力计 优点：体积小，结构简单，能直接反映微小的压力变化，动态响应好 缺点：敏感元件易受温度的影响，从而影响压阻系数的大小 第四节 电气式压力计 电容式压力传感器 电容式压力变送器是通过弹性膜片的位移引起电容量的变化从而测出压力(或差压)的。 电容变换器有变间隙式、变面积式和变介电常数式三种，电容式压力（差压）变送器常采用变间隙式。 第四节 电气式压力计 变换原理:将被测量的变化转化为电容量变化 两平行极板组成的电容器,它的电容量为: + + + ? A ? δ、A或ε发生变化时，都会引起电容量的变化。 第四节 电气式压力计 面积变化型 角位移型 + + + 第四节 电气式压力计 平面线位移型 第四节 电气式压力计 柱面线位移型. 第四节 电气式压力计 特点 压差ΔP与ΔC成正比例，将电容的变化经过适当的转换电路，可将差动电容的变化量转换成标准的4~20mADC输出信号。 这种传感器结构坚实，稳定可靠，灵敏度高；精度高，其精确度可达±0.25％～±0.05％。 量程可