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iCAP6000系列光谱仪培训讲义 赵占良 2006-12-24 iCAP6000系列光谱仪结构及其原理 新型标准模块设计 iCAP6000系列光谱仪结构及其原理 标准样品导入系统 iCAP 炬箱和连锁保护 可选件 可选件 炬箱 iCAP 光学系统 – 前光路 双向光测 垂直观测 高效曲面镜 (凹面镜 凸面镜) 低失真 凸面镜(位于狭缝前) 用于掌控两个方向 选择观测方式 (双向观测时) 改变等离子体的观测高度 (垂直观 测时) iCAP 光学系统 高分辨率 7pm @ 200nm 高通量 低杂散光 缩短积分时间 提高分析速度 改善仪器检出限 稳定性好 恒温系统能控制 在 0.10C以内。 iCAP 光学系统 紧凑的光室设计 改善热稳定性 降低驱气流量 – 2L/m 提高真空紫外灵敏度 启动时自动进行光路校正和峰位准直。 观测高度可变 用户自己选择或者自动优化 iCAP 光学系统 平面光栅与中阶梯光栅 主要区别：光栅刻线不同 光栅方程： d(sinα±sinβ)=mλ (m=0 ±1 ±2) iCAP 光学系统 m1λ1=m2λ2=m3λ3=。。。。。。。 iCAP 光学系统 一维分光系统： 平面光栅+滤光片，得到线光谱 二维分光系统： 中阶梯光栅+石英棱镜，得到点光谱