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Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 扫描电镜发射源的发展 扫描电镜的性能受到多种因素的影响，如发射源的种类（钨灯丝、场发射）、各级透镜 的设计方式（内透镜、外透镜、半内透镜）、各探测器的种类和接收方式（二次电子探测器、 背散射电子探测器等）以及电镜结构的优化等等，其中发射源的种类对扫描电镜的性能影响 最大。 目前扫描电镜的发射源主要有热发射型电子枪和场发射型电子枪两大类，其中热发射型 电子枪的灯丝主要有钨灯丝和六硼化镧（LaB6 ），而场发射电子枪又分为肖特基热场发射 和冷场发射两种。由于扫描电镜的图像是依靠会聚的电子束探针在样品表面进行光栅式扫描 获得的，因此电子探针的束斑直径直接决定了扫描电镜的分辨率。而发射源又直接决定了电 子探针的束斑直径。发射源的直径越小、亮度越高、电子的能量发散度越小，则电子探针的 束斑直径也越小，色差也越小，有利于高分辨图像的获得；而发射源发射电流越大，则有利 于提高图像信噪比，也有利于大束流分析。但是目前的发射源很难同时满足高分辨率和大束 流的要求，因此寻找新的扫描电镜发射源对于提高电镜整体的性能至关重要。 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 图一 金属-真空界面上电子能量的费米分布和势能曲线 A 无外电场时的势能曲线 B 弱外电场时的势能曲线 C 强外电场时的势能曲线 作为一个理想的电镜发射源，它必须具有以下几个特点：低的功函数、低的挥发性、低 的导电性、高的耐化学腐蚀性以及高的机械强度。电子从金属中发射出来需要克服一定的势 垒（如图一所示），我们可以通过提高电子的运动能力（如热发射型电子枪）、降低势垒的 高度（如肖特基热场发射电子枪）或者减小势垒的宽度（如冷场发射电子枪）等方法来帮助 电子从金属灯丝中发射出来，当然我们也可以直接采用更低功函数的灯丝来减小电子出射的 难度（如 GdB6 的功函数为 1.5eV ，而LaB6 的功函数为 2.5eV ，因此电子更容易从GdB6 灯丝中发射）。灯丝的发射电流可以通过如下公式 [1-3]计算得到： J= 〖2.23× 〖10〗^(-25) (E^2⁄ϕ)exp((4.12× 〖10〗^(-9))/ϕ^0.5 -1.02× 〖10〗^38 ϕ^1.5/E) 〗_ （1 ） 式中 E 为灯丝针尖所加的电场强度，且 E 与灯丝所加的电压 V 和灯丝尖端半径 r 有关，ϕ 为 灯丝功函数。 从公式一可见，提高灯丝针尖所加电场强度可以大大提高灯丝的发射电流，而 E 又与灯 丝所加电压和灯丝半径有关，故采用高的灯丝电压或者采用更细的灯丝针尖都可以提高灯丝 的发射电流。目前扫描电镜中常用的场发射电子枪的灯丝直径远小于钨灯丝的直径，因而具 有较高的分辨率。但即使是场发射灯丝，目前的肖特基热场或者冷场发射模式都还存在一定 的缺陷。 常见的肖特基热场灯丝主要是由钨灯丝和氧化锆涂层两部分组成，通过加热灯丝将氧化 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 锆涂层熔融来降低灯丝的势垒，从而使电子发射。但这种灯丝的结构复杂，制作