工科系翁政辉-国立清华大学全球事务处OGA.PDFVIP

教育部獎助國立清華大學選送學生赴國外頂尖大學（機構）研修學生 成果報告書 Imaging the “hot-spots” of single-walled carbon nanotube electronic devices by the near-field Raman technique 獲 獎 生 姓 名︰ 翁政輝 出 國 地 點︰ 新加坡 研修大學 （機構）︰南洋理工大學 研修系所 （單位）︰材料工程與科學學院 出 國 期 間︰ 2007/09/07 – 2008/03/14 報 告 日 期︰ 2008/4/18 摘要 準一維的奈米材料如奈米碳管，其長度可達數釐米，半徑卻只有數奈米到數十奈米 間，在理論預測或實驗上被證實為具有近似彈道傳輸 (quasi-ballistic)的性質，即其載子 （電 子或電洞）在傳輸時幾乎不受到碰撞。以單壁奈米碳管來說，其電子 電子之碰撞平均- 自由徑高達數微米，其碰撞過程中主要的能量損失以電子 -缺陷及電子聲子的碰撞為- 主。前者為材料合成的議題，可藉由製程參數的最佳化加以改善或解決；後者則是單壁 奈米碳管的內凜性質，是為可避免的一個過程。其中，聲子的碰撞又可分為聲頻聲子與 光頻聲子，前者的碰撞平均自由徑約數十個奈米，後者的則為數百個奈米左右。然而， 前者由於其動量較低，對載子能量的損耗較為次等，後者則主導了單壁奈米碳管元件的 效能。自 2001 年以來，眾多學者為瞭解奈米材料中載子傳導機制並解決這個議題付出 諸多心血，單根單壁奈米碳管傳導元件其特性被最佳化可傳輸 ~ 100 μA 之電流，其電流 9 A/cm2 ，已遠超越現今半導體製程常用之銅導線崩潰之前的最大傳輸的電 密度高達 10 流密度，這是由於碳管本身的不僅是良好的導體，其導熱的性質亦與鑽石相當。因此， 奈米碳管的研究成奈米科技當中相當受矚目的材料，並被 Nature 期刊選為最近最熱門的 五個研究主題之一。 本次研究計畫的主題擬以單壁奈米碳管的傳輸性質研究為主，主要是要利用近場拉 曼光譜學的技術，來探討奈米碳管其載子在傳輸時因電子 -聲子碰撞能量損耗其機制與 對電性表徵所造成的影響。利用近場光學的技術，不僅可達到數十奈米高空間解析的檢 測，搭配以即時的電性量測，更可被利用來清楚指出電子-缺陷及電子-聲子之間的交互 作用，對將來奈米科技的瞭解與發展均有相當大的重要性。除此之外，作為奈米場效電 晶體的半導性單壁奈米碳管， 其電子-聲子的交互作用較金屬性的來說更為複雜，這在 文獻先前的研究中尚未清楚釐清的。因此，利用實驗室已相當純熟的單壁奈米碳管化學 1 氣相沈積的合成技術及電子元件製作技術，搭配電性及拉曼光譜的量測，期望能逐一將 尚未釐清的問題解決。 2 目次 摘要 1 1.研修目的 4 2. 方法及過程6 2.1 背景、物理模型及動機 6 2.2 懸掛單壁奈米碳管及其元件的製備14 2.3 電性及光性的檢測 16 3. 結果與討論 19 3.1 CVD 製程結果19 3.2 電性量測 21 3.3 拉曼光譜量測及其共軛影像23 4. 結論 29 5. 參考文獻30 6.研修成果著作 32 7.研修心得及建議 33 3 1.研修目的 拉曼光譜(Raman spectroscopy)是一種相當重要的材料檢測技術，對單壁奈米碳管來 說，不僅可用來反映本身結構上的優劣，亦可用其共振光譜的特徵譜線來判定其結構參 數（旋度） 。拉曼特徵譜線反映出該材料聲子的能量大小，並可藉由譜線強度的比值來 回推當時材料的局部溫度。近場拉曼光譜為相當新穎的材料檢測技術，對