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微奈米中心仪器说明会
您不可不知的儀器──
巡迴儀器說明會(南大場)
成大微奈米中心擁有完整的微奈米製程及相關的檢測設備，同時也有完善的維護、管理、教學及代工等制度。為促進本校及周遭夥伴學校充分運用本中心的儀器設備並推展微奈米相關研究，針對微奈米製程及相關的檢測設備等儀器，特別邀請本中心之專業人員著重儀器的功能、特色及可能應用之研究領域做精闢的介紹，希望有興趣的老師、學生、研究人員與業界人士能踴躍參與。
舉辦時間：年月
舉辦地點：
主辦單位：國立成功大學微奈米科技研究中心
聯絡人：許郁佩小姐
聯絡電話：(06)2757575-31386
E-mail：mimi@mail.mina.ncku.edu.tw
完全免費，座位有限，盡速報名，額滿為止。
:30
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13:40 主持人致詞 時間 主題 儀器 師資 1:40
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14:10 製 程 薄膜微影製程 電子束蒸鍍機 II (New E-beam Evaporator)磁控濺鍍機 I (The DC Magnetron Sputter Deposition; Old Sputter)超高真空離子束濺鍍機 , IBS分子束磊晶系統 Veeco Gen II (MBE)單面光罩對準機 (Single-Side Mask Aligner)
反應離子蝕刻機 (Reactive Ion Etching; RIE)
奈米壓印-UV光感成型式奈米轉印機 U V Imprinting旋轉塗佈儀 (Spin Coater I) 張超群 14:10
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14:40 檢測 機械 奈米三維量測儀及奈米薄膜材料試驗機
(MTS Nano-indentation system Nano-mechanical microscopy XP;MTS XP)
奈米壓痕試驗機 (MTS Nano Indenter G200)
原子力顯微鏡 AFM (Atomic Force Microscope)-P7LS
表面粗度儀 (Alpha-Step Profilometer) 吳博雄 休息 時間 主題 儀器 師資 1:50
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15:20 檢測 光學 微拉曼及微光激發光譜儀(Micro-Raman Micro-PL)
顯微拉曼光譜儀(Microscopes Raman Spectrometer)
傅立葉轉換紅外光光譜儀 Fourier-Transform Infrared Spectrometer (FTIR)
共軛焦 3D 光學表面形貌量測儀 (3D Confocal Micorsopce;Nano Focus)
橢圓偏光儀 Ellipsommeter 謝伯宗 15:20
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15:50 常用機台 高解析熱電子型場發射掃描式電子顯微鏡(SEM; JEOL JSM 7000 7001)
可變壓力掃描式電子顯微鏡 ( SEM; Zeiss EVO50)
高解析場發射掃描穿透式電子顯微鏡(STEM; JEM 2100F)
(SEM; Hitachi TM1000)
奈米標章(奈米尺度、抗菌、抗污) 粘永堂 15:50
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16:20 貴重機台 E-Beam Writer
雙束型聚焦離子束 (Dual-Beam Focused Ion Beam ; DB-FIB) 鍾崇仁 問題與討論
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