掺镁2E3基薄膜体声波谐振器的制备和性能研究-压电与声光.PDFVIP

下载本文档

4
0
约1.91万字
约 4页
2017-06-06 发布于天津
举报
版权申诉

掺镁2E3基薄膜体声波谐振器的制备和性能研究-压电与声光.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

掺镁2E3基薄膜体声波谐振器的制备和性能研究-压电与声光

第卷第期压电与声光年月文章编号掺镁基薄膜体声波谐振器的制备和性能研究卢学良段力刘一剑汪军张亚非上海交通大学电子信息与电气工程学院上海摘要固体装配型薄膜体声波谐振器机械强度好尺寸小可在硅片上三维立体集成灵敏度大在未来的通信设备制作高带通滤波器和物联网传感器中展现出广泛的应用前景通过射频磁控溅射系统制备了以掺镁作为压电层的固体装配型薄膜体声波谐振器研究了掺镁对薄膜体声波谐振器谐振性能的影响利用场发射扫描电镜对的结构进行了微观表征比较了不同掺镁靶材对于晶向和谐振性能的影响通过优化条件制备出了性能优越的其谐振频率在品质因数可达回波损耗可达关键词掺镁薄膜体声波谐振器谐振频率射频磁控溅射传感器中图分类号文献标识码