用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜.PDF

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2017-06-06 发布于天津
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用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜

22 3 Vol22 No . 3 200 1 9 CH NESE J OURNA L OF LU M NESCENCE Sept . , 2001 研究快报用电子束热蒸发技术制备ZnO 薄膜张彬, 林碧霞, 傅竹西, 施朝淑 ( ; , 230026) : ZnO , ( 002) , 150nm , 525nm : ; ; : O4 823 : A : 1000- 7032( 200 1) 03-0309- 03 , GaN , ZnO 950 , 1 , , GaN ZnO 1997 , , [ 1] , Science1997 W L L U V LASERS BEAT T HE BL UES?, , ZnO 1 1 ; 2; 3; , , 4 ; 5 ; 6; 7 ZnO , Fig. 1 Sketch map of t he device of electron beam , evapor atio n. [ 2] 1X Si ZnO , X 2 ( ) [ 3, 4] , ZnO , , , 1 3 , , ZnO , 4, , ZnO 2 X ZnO , ZnO , Si F ig. 2 X- ray diffraction pattern of ZnO film . : 2001-03-22; : 2000-07-20 : ( : ( 1976- ) , , , 98 , 3 10 22 2 ZnO X , , 210nm, ( 002) , 525nm 4 80~ 540nm X , ZnO ( 002) 2 ZnO 3, 150nm , 3 4 ZnO F ig. 4 P L spectrum of ZnO film .