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刻蚀工艺与设备培训.pdfVIP

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  • 2017-06-07 发布于湖北
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刻蚀工艺与设备培训.pdf

    刻蚀工艺与设备培训

    IBE图片 刻蚀工艺与设备培训 王瑗 纳米加工平台 2009.5 11 1 刻蚀的基本原理 2 IBE刻蚀原理及设备 3 RIE刻蚀原理及设备 4 ICP刻蚀原理及设备 5 工艺过程、检测及仪器 22 1 刻蚀的基本原理 刻蚀 用物理的、化学的或同时使用化学和物理的方 法，有选择地把没有被抗蚀剂掩蔽的那一部分 材料去除，从而得到和抗蚀

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