北京大学MEMS研究.pdf

本網站中的所有內容，如文字、圖像、影音及程式等之智慧財產權，已獲得智慧財產權人授權使用。 任何人士不得未經資料智慧財產權人的同意，以任何方式抄襲、更改、出版本網站內的資料。 北京大学MEMS研究 北京大学MEMS研究 1 1 本網站中的所有內容，如文字、圖像、影音及程式等之智慧財產權，已獲得智慧財產權人授權使用。 任何人士不得未經資料智慧財產權人的同意，以任何方式抄襲、更改、出版本網站內的資料。 微电子学研究院介绍 亚100nm以下新结构半导体器件和集成技术、 微纳电子器件及 半导体器件模型模拟、小尺寸MOS器件可靠性 其集成技术(ULSI) 物理及其应用、新型微纳电子材料研究等 系统集成芯片 数模混合集成电路、SOC设计方法学、专用集 (SOC)设计及其 成电路设计与开发、IP开发、MPW设计验证的 设计方法学 环境建设等 硅集成电路工艺为基础的MEMS设计制造技 集成微纳系统 术、面向各方面应用的新型MEMS器件、 (MEMS)技术 MEMS计算机辅助设计(CAD)技术等 •在站博士后: 12人 • 教授：21人 •博士生: 15~20人/年 • 副教授: 25人 •硕士生: 30~40人/年 • 高工: 15人 •本科生60人/年 2 2 本網站中的所有內容，如文字、圖像、影音及程式等之智慧財產權，已獲得智慧財產權人授權使用。 任何人士不得未經資料智慧財產權人的同意，以任何方式抄襲、更改、出版本網站內的資料。 MEMS研究所介绍 1996年创建，1998年运行，900平米超净间 具有国际先进水平的关键加工设备 北京部分 近5年来承接各类科研项目146项 术 室 （北大） 技 验 开展加工服务1200批、9000多片 工 实 加 点 米 重 是国内领先的MEMS加工基地 纳 级 / 米 家 微 国 • 教职员工：12人 •在站博士后: 6人 上海部分 （上海交大） •博士生: 6人/年 • 技术员工：10人 •硕士生: 30人/年 3