一种扭臂式静电微执行器的pull-in现象分析-朱文俊.PDF

櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶 ： ｄｏｉ １０３９６９／ ｊｉｓｓｎ１００３３５３ｘ２０１０ｚ１０３２ 一种扭臂式静电微执行器的 现象分析 ｐｕｌｌｉｎ 朱文俊，方玉明，石文尚 （南京邮电大学电子科学与工程学院南京， ） ２１０００３ 摘要：基于扭臂式微驱动器模型，根据边缘电容效应不可忽略的特点，推导出计及边缘效应 的电容表达式利用能量法求解扭臂式微执行器的 参数计算公式对于这种不满足平行板 ， ｐｕｌｌｉｎ 。 简化计算条件的模型计及边缘效应计算式具有更好的准确性 ， 。 关键词微执行器扭臂式静电计及边缘效应 现象 ： ； ； ； ；ｐｕｌｌｉｎ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）增刊 ＴＮ７０３ Ａ １００３３５３Ｘ ２０１０ ０１１４０４ Ｐｕｌｌｉｎ Ｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎ Ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ ＭｉｃｒｏＡｃｔｕａｔｏｒ ｗｉｔｈ Ｔｏｒｓｉｏｎ Ｂｅａｍ ， ， Ｚｈｕ Ｗｅｎｊｕｎ Ｆａｎｇ Ｙｕｍｉｎｇ Ｓｈｉ Ｗｅｎｓｈａｎｇ （ ， Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｎａｎｊｉｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｐｏｓｔｓ ， ， ） ａｎｄ Ｔｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ Ｎａｎｊｉｎｇ ２１０００３ Ｃｈｉｎａ ： Ａｂｓｔｒａｃｔ Ｂａｓｅｄ ｏｎ ｔｈｅ ｍｏｄｅｌ ｏｆ ｍｉｃｒｏａｃｔｕａｔｏｒ ｗｉｔｈ ｔｏｒｓｉｏｎ ｂｅａｍ ａｎｄ ｔｈｅ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｅｄｇｅ ， ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ ｅｆｆｅｃｔｓ ｃａｎ ｎｏｔ ｂｅ ｉｇｎｏｒｅｄ ｔｈｅ ｅｘｐｒｅｓｓｉｏｎ ｏｆ ｔｏｒｓｉｏｎ ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ ｗａｓ ｄｅｒｉｖｅｄ． Ａｎｄ ｔｈｅｎ ｔｈｅ ｅｘｐｒｅｓｓｉｏｎ ｏｆ ｔｏｒｓｉｏｎ ｐｕｌｌｉｎ ｆｏｒ ｔｈｅ ｍｉｃｒｏａｃｔｕａｔｏｒ ｗａｓ ｃａｌｃｕｌａｔｅｄ ｗｉｔｈ ｅｎｅｒｇｙ ｍｅｔｈｏｄ． Ｆｏｒ ｔｈｉｓ ｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎ ， ｄｏｅｓｎｏｔ ｆｉｔ ｔｈｅ ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓ ｏｆ ｐａｒａｌｌｅｌｐｌａｔｅ ｍｏｄｅｌ ｔｈｅ ｅｄｇｅ ｅｆｆｅｃｔ ｅｘｐｒｅｓｓｉｏｎ ｏｆ ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ ｏｎ ｔｈｅ ｅｄｇｅ ｉｓ ｍｏｒｅ ａｃｃｕｒａｔｅ ｒｅｌａｔｉｖｅｌｙ． ： ； ； ； ； Ｋｅｙ ｗｏｒｄｓ ｍｉｃｒｏａｃｔｕａｔｏｒ ｔｏｒｓｉｏｎ ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ ｉｎｃｌｕｄｅ ｅ