硅基础第一节讲义.pptVIP

* 深圳大学材料学院 * * 硅基材料应用 刘新科博士 讲师 深圳大学材料学院 xkliu@szu.edu.cn * * 硅基材料应用 现代硅基CMOS的发展历史 Moore’s law; 国际半导体发展宏图; 微电子的制备的基本流程; * * 第一个晶体管 第一个晶体管-点接触晶体管 John Bardeen, Walter Brattian William Schockley Bell Lab. 1947 Bobel Prize in Physics, 1956 第一个集成电路，  Texas Instruments, 1958 平面晶体管 Fairchild, 1959 第一个平面集成电路 Fairchild, 1961 摩尔定律 Moore’s law：the number of transistors in a dense integrated circuit has doubled approximately every two years. CMOS Scaling 想象一下 想象一下 流感病毒 主要的半导体公司企业 主要的半导体公司企业 TSMC Total Patents:9763 TSMC VS UMC, GF, SMIC Source/Drain formation Process Gate Stack