【2017年整理】三电容式传感器.ppt

电容式传感器是将被测非电量的变化转化为电容量的一种传感器。具有结构简单、分辨力高、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下工作等优点。可用于测量位移、振动、角度、加速度等机械的精密测量，还应用于压力、差压、液面、料面、成分含量等方面的测量,容易实现非接触测量，但其有泄露电阻和非线性。 ;? 以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容量变化的传感器称为电容式传感器。 ;第一节 电容式传感器的工作原理及特性; 当被测参数变化使得式（3-1）中的A、d或ε发生变化时，电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。因此，电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介电常数型三种。下图所示为常用电容器的结构形式。;d;二. 变极距型电容传感器 ;极板2上移, 电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd，电容量增大了ΔC，则有 ：; 此时C与Δd 近似呈线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d0很小时，才有近似的线性关系。 ;图3-3 放置云母片的电容器; 云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000 kV/mm，而空气仅为3 kV/mm。因此有了云母片，极板间起始距离可大大减小。同时，式（3-5）中的dg/ε0εg项是恒定值，它能使传感器的输出特性的线性度得到改善。 一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20~100pF之间，极板间距离在25~200μm 的范围内。最大位移应小于间距的1/10，故在微位移测量中应用最广。 ;??????筒形：外圆筒不动，内圆筒在外圆筒内作上、下直线运动??????板状线位移：极板2可以左右移动。极板1固定不动??????角位移：极板2的轴由被测物体带动而旋转一个角位移θ度时，两极板的遮盖面积A↓→电容量↓;线性;??????因为各种介质的相对介电常数不同，所以在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同。这种传感器可用来测量物位或液位，也可测量位移。几种介质的相对介电常数;l;插入介质ε2 后的电容量为：;所以：C与a成线性关系;五、电容式位移传感器的结构形式;六、电容式传感器的输出特性;在差动式平板电容器中, 当动极板向上位移Δd时：电容器C1的间隙d1变为d0–Δd 电容器C2的间隙d2变为d0+Δd 则：;电容值总的变化量为 ΔC= C1-C2=C0 ;略去高次项，则ΔC/C0与Δd/d0近似成为如下的线性关系： ;非差动电容式传感器的非线性误差 以式（3-3）为例;第二节 电容式传感器的等效电路 ; 由等效电路可知，它有一个谐振频率，通常为几十兆赫。 当工作频率等于或接近谐振频率时，谐振频率破坏了电容的正常作用。因此，工作频率应该选择低于谐振频率，否则电容传感器不能正常工作。 传感元件的有效电容Ce可由下式求得(忽略Rs和Rp): ;在这种情况下，电容的实际相对变化量为 ;第三节 电容式传感器的测量电路;式中: L——振荡回路的电感;  C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+C0±ΔC。 其中, C1为振荡回路固有电容; C2为传感器引线分布电容; C0±ΔC为传感器的电容。 ; 当被测信号为0时，ΔC=0，则C=C1+C2+C0，所以振荡器有一个固有频率f0, 其表示式为 ; ;用调频系统作为电容传感器的测量电路主要有以下特点 (1)选择性好，且灵敏度高 (2)抗外来干扰能力强； (3)特性稳定； (4)能取得高电平的直流信号(伏特数量级)； (5)因为是频率输出，易于用数字仪器和计算机接口。;二、谐振电路;如果传感器是一只平板电容，则Cx=ε0A/d，代入式(3-21)，可得 ; 式中“-”号表示输出电压Uo的相位与电源电压反相。式（3-23）说明运算放大器的输出电压与极板间距离d成线性关系。运算放大器式电路虽解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题，但要求Zi及放大倍数足够大。为保证仪器精度，还要求电源电压Ui的幅值和固定电容C值稳定。 ;四、 二极管双T形交流电桥;电路工作原理： 正半周：Ui为正半周时，VD1导通、VD2截止，于是电容C1充电，其等效电路如图3-14（b）所示，C1充电，电流由上至下流过RL；C2放电，电流由下至上流过RL 负半周：Ui为负半周时，VD2导通、VD1截止，则电容C2充电，其等效电路如图3-14（c）所示，C2充电，电流由下至上流过RL；C1放电，电流由上至下流过RL 若C1 = C2，则电流抵